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當(dāng)前位置:上海維翰光電科技有限公司>>電子顯微鏡>> 臺(tái)式顯微鏡 TM4000II/TM4000PlusII
超g分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000
TM4000 系列為 SEM 用戶提供了一種解決方案,可以輕松獲得高質(zhì)量的數(shù)據(jù)并快速生成報(bào)告,從而實(shí)現(xiàn)*效的工作流程。環(huán)b、*效的真空系統(tǒng)可縮短泵送時(shí)間和高樣品處理量。可容納直徑可達(dá) 80 mm、厚度可達(dá) 50 mm 的樣品尺寸。
觀察與分析的靈活性
可快速獲得元素分布圖*2
高感度低真空二次電子檢測(cè)器的檢測(cè)原理
Multi Zigzag(選配)
EM 樣品臺(tái)(選配)
項(xiàng)目 | TM4000PlusII | TM4000II |
---|---|---|
倍率 | ×10~×100,000(照片倍率) ×25~×250,000(顯示器倍率) | |
加速電壓 | 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV | |
圖像信號(hào) | 背散射電子 二次電子 復(fù)合圖像(背散射電子+二次電子) | 背散射電子 |
真空模式 | 導(dǎo)電體(僅背散射電子) 標(biāo)準(zhǔn) 靜電減輕 | 標(biāo)準(zhǔn) 靜電減輕 |
樣品可移動(dòng)范圍 | X:40 mm Y:35 mm | |
*大樣品尺寸: | 80 mm(直徑) 50 mm(厚度) | |
電子槍 | 集中燈箱(Pre-Centered Catridge Filament) | |
檢測(cè)器 | 背散射電子:高感度4分割 背散電子檢測(cè)器 二次電子:高感度低真空 二次電子檢測(cè)器 | 背散射電子:高感度4分割 背散射電子檢測(cè)器 |
排氣系統(tǒng) (真空泵) | 渦輪分子泵:67 L/s 1臺(tái) 隔膜泵:20 L/min | |
尺寸與重量 | 主體:330(寬度)×614(進(jìn)深)×547(高度) mm、54 kg(附帶馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)) 主體:330(寬度)×617(進(jìn)深)×547(高度) mm、54 kg(附帶手動(dòng)樣品臺(tái)) 隔膜泵:144(寬度)×270(進(jìn)深)×216(高度) mm |
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