研究型硅片檢測顯微鏡
一、用途
WMZ-9190研究型硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
WMZ-9190硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中*的檢測儀器之一.
配置參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)配置 | |
目鏡 | 大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm) |
無限遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡 | PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm |
PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm | |
PL L40X/0.60 工作距離：3.98 mm | |
PL L60X/0.70 工作距離：3.18 mm | |
PL L100X/0.90 工作距離：2.2 mm （干式） | |
目鏡筒 | 30?傾斜,瞳距調(diào)節(jié)范圍53~75mm. |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm. |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) |
載物臺 | 雙層機(jī)械移動式載物臺, 外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍:63mmX50mm |
落射照明系統(tǒng) | 6V30W鹵素?zé)?，亮度可調(diào) |
配置黃、藍(lán)、綠濾色片與磨砂玻璃片 | |
內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、濾色片轉(zhuǎn)換裝置、推拉式檢偏器與起偏器 | |
透射照明系統(tǒng) | 阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降 |
集光鏡中內(nèi)置視場光欄 | |
配置藍(lán)濾色片與磨砂玻璃片 | |
6V30W鹵素?zé)?、亮度可調(diào) | |
防霉 | *防霉系統(tǒng) |
系統(tǒng)組成 | 電腦型(WMZ-9190C) 1.硅片檢測顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計(jì)算機(jī)（選購） |
數(shù)碼型(WMZ-9190D) 1、硅片檢測顯微鏡 2、適配鏡 3、數(shù)碼相機(jī)（選購） | |
可選配件 | |
目鏡 | 分劃目鏡10X（Φ22mm） |
物鏡 | 明場物鏡 20X、50X、80X |
CCD接頭 | 0.5X、1X、0.5X帶分劃尺 |
攝像儀 | USB輸出：130/300/500/1000萬像素 |
數(shù)碼相機(jī)接頭 | CANON(EF) NIKON(F) |
分析軟件 | 二維圖像測量分析軟件 |
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