本儀器是用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。
儀器配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。
本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。
技術(shù)參數(shù)
測量表面光潔度范圍 | 0.03～1μm（▽10～▽14） | |
工作物鏡的數(shù)值孔徑 | 0.65 | |
工作距離 | 0.5mm | |
儀器的視場 | 目視 | Φ0.25mm |
照相 | 0.21×0.15mm | |
儀器的放大倍數(shù) | 目視 | 500× |
照相 | 168× | |
測微目鏡放大倍數(shù) | 12.5× | |
測微鼓分劃值 | 0.01mm | |
綠色干涉綠色片波長 | λ≈5300? | |
半寬度 | ▽λ≈100? | |
工作臺升程 | 5mm | |
X、Y方向移動范圍 | ≈10mm | |
旋轉(zhuǎn)運動范圍 | 360° | |
儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡高反射率 | ≈60% | |
低反射率 | ≈4% | |
可調(diào)變壓器輸入電壓 | 220V | |
輸出電壓 | 4V～6V | |
儀器外形尺寸 | 270×160×230mm | |
儀器重量 | ≈5kg | |
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