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擴(kuò)散爐TK180

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：其它
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時間：2022-06-08 18:20:03
  • 瀏覽次數(shù)：9
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北京中科同志科技股份有限公司

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  • 經(jīng)營模式：其他
  • 商鋪產(chǎn)品：209條
  • 所在地區(qū)：
  • 注冊時間：2017-04-24
  • 最近登錄：2021-08-23
  • 聯(lián)系人：
產(chǎn)品簡介

詳情介紹
【商品名稱】：擴(kuò)散爐TK180 
【生產(chǎn)廠家】：同志科技
【商品規(guī)格】：TK180		 
【商品簡介】：
         擴(kuò)散爐專門設(shè)計用于半導(dǎo)體材料擴(kuò)散、氧化工藝；同時也用于太陽能電池行業(yè)的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜（LPCVD）工藝。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲，氣煉石英管作為爐膛, 可預(yù)抽真空并可通入?yún)⑴c反應(yīng)沉積的氣體。
　　 溫度控制系統(tǒng)選用日本進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計隔板結(jié)構(gòu)，恒溫區(qū)溫度均勻。進(jìn)口或國產(chǎn)氣氛控制系統(tǒng)，質(zhì)量流量計控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想企業(yè)的研制、生產(chǎn)設(shè)備。
 
【備　　注】：
主要技術(shù)參數(shù)見下表：

項目		參數(shù)
爐膛尺寸ф180（外徑）×2200 mm
加熱區(qū)長700 mm
溫區(qū)點數(shù)3 點/單管
工作溫度RT～ 1200℃ （爐溫 1250℃ ）
控制精度±1 ℃
報警保護(hù)超溫、欠溫、斷偶、等報警保護(hù)
升溫功率12 KW/單管
重量550 Kg
注：用戶有何特殊要求可協(xié)商。

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