INFICON SKY CDG045D真空計(jì)是高精度總壓強(qiáng)測量和控制的*選擇。為達(dá)到優(yōu)異的訊號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性,將CDG045D真空計(jì)的溫度控制于45度。全量程范圍從100毫乇至1000乇,配有全部常用的法蘭型式和fieldbus接口,和提供線性的0至10伏與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào)。INFICON電容真空計(jì)采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點(diǎn)是訊號(hào)穩(wěn)定性好,從大氣壓恢復(fù)快,預(yù)熱時(shí)間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量,成本效益好的壓強(qiáng)傳感器,用于要求高的各項(xiàng)真空應(yīng)用中。
*性:
1、低CoO(擁有成本),50%快速預(yù)熱,能效高,功耗低
2、易整合于系統(tǒng)中,寬量程范圍,法蘭和接口,標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)帶兩個(gè)設(shè)點(diǎn)
3、簡易的一鍵操作或遙控訊號(hào)調(diào)零指令,零點(diǎn)偏離可調(diào)
4、診斷端口用于快速維修和維護(hù)
5、兩年保修期,采用*的加熱概念和傳感器保護(hù),真空計(jì)使用壽命長
6、由于的訊號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用條件下仍可*使用,無需重復(fù)校準(zhǔn)
7、符合標(biāo)準(zhǔn):CE,EN,UL,SEMI,RoHS
用途:
- 刻蝕,CVD,PVD和其它半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
- 化學(xué)和腐蝕性真空過程
- 常用薄膜和真空過程
- 用于按標(biāo)準(zhǔn)檢測測試儀器的參考傳感器
- 用于跟蹤性測量的傳輸標(biāo)準(zhǔn)