INFICON SKY CDG160D和CDG200D高溫真空計(jì)是高精度總壓強(qiáng)測(cè)量和控制的*選擇。為達(dá)到優(yōu)異的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程要求的性能，將CDG160D和CDG200D真空計(jì)的溫度相應(yīng)地控制于160度和200度。全量程范圍從1乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類(lèi)型無(wú)關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào)。INFICON電容真空計(jì)采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點(diǎn)是訊號(hào)穩(wěn)定性好，從大氣壓恢復(fù)快，預(yù)熱時(shí)間短和超長(zhǎng)的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量，成本效益好的壓強(qiáng)傳感器，用于半導(dǎo)體，等離子和各項(xiàng)要求高的真空應(yīng)用中。

*性：

1. 低CoO（擁有成本），50%快速預(yù)熱，能效高，功耗低
2. 易整合于系統(tǒng)中，寬廣的全量程范圍，法蘭和接口，標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)帶有兩個(gè)設(shè)點(diǎn)
3. 簡(jiǎn)易的一鍵操作或遙控訊號(hào)調(diào)零指令，零點(diǎn)偏離可調(diào)
4. 診斷端口用于快速檢修和維護(hù)
5. 兩年保用期，真空計(jì)使用壽命長(zhǎng)，采用*的加熱概念和傳感器保護(hù)
6. 由于的訊號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用條件下仍可*使用，無(wú)需重新校準(zhǔn)
7. 符合標(biāo)準(zhǔn)：CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途：

1. 刻蝕，PVD,CVD,LPCVD和其它半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程
2. 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
3. 需要真空計(jì)保護(hù)的常用薄膜和真空過(guò)程