INFICON SKY CDG160D和CDG200D高溫真空計是高精度總壓強測量和控制的*選擇。為達到優(yōu)異的半導體和等離子過程要求的性能，將CDG160D和CDG200D真空計的溫度相應(yīng)地控制于160度和200度。全量程范圍從1乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關(guān)的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點是訊號穩(wěn)定性好，從大氣壓恢復快，預(yù)熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量，成本效益好的壓強傳感器，用于半導體，等離子和各項要求高的真空應(yīng)用中。

*性：

1. 低CoO（擁有成本），50%快速預(yù)熱，能效高，功耗低
2. 易整合于系統(tǒng)中，寬廣的全量程范圍，法蘭和接口，標準型號帶有兩個設(shè)點
3. 簡易的一鍵操作或遙控訊號調(diào)零指令，零點偏離可調(diào)
4. 診斷端口用于快速檢修和維護
5. 兩年保用期，真空計使用壽命長，采用*的加熱概念和傳感器保護
6. 由于的訊號穩(wěn)定性和可重復性，即使在嚴酷的等離子應(yīng)用條件下仍可*使用，無需重新校準
7. 符合標準：CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途：

1. 刻蝕，PVD,CVD,LPCVD和其它半導體生產(chǎn)過程
2. 化學和腐蝕性高溫過程
3. 需要真空計保護的常用薄膜和真空過程