流化床立式管式爐爐管為高純石英管，爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進行沉積實驗
用途范圍：
SGM 實驗室流化床管式爐系統(tǒng)是一款流化床立式管式爐，專門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內爐體設計為開啟式，當實驗結束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。
注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量等
主要技術參數(shù)：
| 電爐名稱 | 帶超聲霧化的流化床管式爐 |
| 基本參數(shù) | 設計工作溫度：1100℃； 設計升溫速率：≤20℃/min； 加熱區(qū)：200mm（單溫區(qū)） 電壓：AC 220V單相, 50/60 Hz ； |
| 爐體結構 | 雙層殼體結構并帶有風冷系統(tǒng) 爐體設計為開啟式，以方便放樣和取樣 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國進口1760度高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率 |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
| 加熱爐管 | 包含一異型石英管 爐管尺寸：兩端：25 mm O.D，22 mm I.D 中間：50 mmO.D，44 mm I.D 詳細尺寸請點擊左圖查看） 中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動性 |
| 多孔石英板 | 孔徑：5~15 um 尺寸：22mmO.D x 4mm厚 |
| 密封法蘭 | 底部法蘭：常規(guī)設計1"不銹鋼真空法蘭，配備1/4"進氣口用于懸浮氣體進入 頂部法蘭：特殊設計的1"法蘭，可實現(xiàn)前驅體氣體或逆流氣體的進氣和出氣，請點擊圖片查看詳情。 |
| 可選配件 | 多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制 氧分析儀：氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過程中的氧化現(xiàn)象。點擊下圖了解更多詳細信息。 |
| 溫控系統(tǒng) | 可設置30段升溫，保溫和降溫程序。 采用PID方式來調節(jié)溫度，并帶有過熱和斷偶保護 控溫精度：±1℃ |
| 質保期 | 一年保質期，終生維護（不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材） |
| 流化區(qū)域 | 配有一個2.4MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成亞微米級液滴引入到加熱流化區(qū)域進行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆 固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內 可提供的熱傳導及顆粒表面的均勻包覆 爐體設計為開啟式，當實驗結束后，可將爐體打開，拿出石英管，取出反應后的顆粒。 注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量 |
| 超聲霧化儀 | 220VAC，2.4MHz高頻超聲波霧化器，可將溶液霧化為亞微米級顆粒 液體罐上涂有氟化物，并采用氟膠密封圈密封 可設置超聲儀功率0-99%，每次按5%增加 外部配備有氟化物光學傳感器（耐腐蝕）以及閥門來確保內部液面處于合適高度，避免液體量過少 316不銹鋼三通，帶有1/4英寸轉換接頭，用于通入載流氣體 |
使用注意事項
爐管內氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，?爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
石英管的長時間使用溫度＜1100℃
對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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