電爐描述

SGM-CVD-1700立式CVD系統(tǒng)詳細(xì)介紹：

CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，額定溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

SGM1700立式CVD系統(tǒng)是由4路供氣系統(tǒng)+TL1700管式爐+真空系統(tǒng)組成

1、加熱元件

（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長。

（2）、采用的是熱彎技術(shù)，電阻均勻，使用壽命長

（3）、Lu冷端長度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。

（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。

2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：

當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出

4、爐膛

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*優(yōu)的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱，溫場更加均衡

5、該爐膛不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)

5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）

SGM-CVD-1700立式CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

型號	功率	爐管尺寸	外形尺寸	電源電壓
SGM1700-CVD-60	7KW	φ60*1000	1300*500*800	220V/380V
SGM1700-CVD-80	7KW	φ80*1000	1300*500*800	220V/380V

控溫模式:智能PID

斷偶保護(hù)和顯示:有

過溫保護(hù):有

過流保護(hù):有

控制精度:+/- 1 ℃:觸發(fā)器

移相觸發(fā):電器

浙江正泰:可控硅106/16E

額定溫度:1700 ℃

額定溫度:1650 ℃

升溫速率:≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

推薦升溫速率:≤10℃/ Min

熱電偶型號:B 型

加熱段長度:440 mm

6、觸發(fā)器

1、移相觸發(fā)（帶軟啟動和限流功能）

2、限流功能：無論怎么樣設(shè)置升溫速率，我們電爐的二次電流始終被限制在170A以內(nèi)，有效的保護(hù)了設(shè)備。由于采用限流功能，高溫下可開爐門。如果您使用的電爐需要在升溫過程中對爐子的升溫速率進(jìn)行限制（例如：規(guī)定在1400℃后不得超過3℃/min等）即采用非限流觸發(fā)器。升溫速率設(shè)置錯誤或者升溫速率過快、這時電流會非常大，設(shè)備會跳閘或燒壞。

3、軟啟動功能：開機(jī)時電流會慢慢增大，對加熱元件的沖擊較小，有利于加熱元件壽命的延長

4、保護(hù)功能：如果電流超過限制電流、觸發(fā)器會自動切斷觸發(fā)功能以切斷電流保護(hù)電爐。

7、UL認(rèn)證變壓器

1、變壓器電纜為純銅

2、變壓器聲音小

3、變壓器溫身低

8、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）

9、認(rèn)證

哪個廠家的質(zhì)量好?生產(chǎn)廠家西格馬質(zhì)量好，售后完善。