詳細(xì)說明
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| D1430是線性空氣軸承，提供線性運(yùn)動(dòng)在高真空環(huán)境中,適合半導(dǎo)體應(yīng)用,如晶片離子注入(直徑300毫米或12”)。高剛度、低流線性空氣軸承主軸提供超光滑、低摩擦運(yùn)動(dòng),沒有污染的風(fēng)險(xiǎn)。主軸壽命長由于使用真空室之間的非接觸式密封系統(tǒng)和軸的表面,與copper-free材料特定的離子注入過程。 線性行程長度508毫米或20”和空心軸直線運(yùn)動(dòng)期間可以同時(shí)旋轉(zhuǎn)角的準(zhǔn)確定位?？招妮S提供路線真空能力、電力或冷卻水通過軸緊湊的解決方案。線性滑動(dòng)系列紡錘波與馬達(dá)和驅(qū)動(dòng)器可以打包,提供一個(gè)完整的解決方案。 |
| 特點(diǎn)： l 無油操作 l 超光滑無摩擦運(yùn)動(dòng) l 360°旋轉(zhuǎn) l 79或700lbs l 在高真空環(huán)境中運(yùn)作 l Copper-free材料 l 緊湊集成空心軸  |
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