技術(shù)參數(shù)
| 型號 | SP-4VIM | |
| 優(yōu)點(diǎn) | 1、采用立式爐體，正面開門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間??； 2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時間。 3、比管式爐更安全，沒有斷管子的風(fēng)險 4、可以在更大尺寸的晶片上生長石墨烯 5、帶有三路供氣系統(tǒng)，可在觸摸屏上直接設(shè)置流量，數(shù)字顯示，操作簡單 6、安裝有穩(wěn)壓系統(tǒng)，可把爐體內(nèi)氣壓穩(wěn)定在某一數(shù)值 7、帶有氣體分散系統(tǒng)，可將進(jìn)入爐腔內(nèi)的氣體盡可能的分散，使反應(yīng)更加均勻 8、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報警，使用安全可靠。 9、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護(hù)并具有報警、輸出電流顯示等功能。 | |
| 輸入功率 | 39KW（感應(yīng)電源35KW+真空泵0.75KW+冷水機(jī)3.2KW） | |
| 溫度 | 1800℃ | |
| 外形尺寸 |
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| 銅圈尺寸 | 224mm(OD)X200mm(ID)X80mm(H) | |
| 石墨盤尺寸 |
外徑110mm，壁厚2mm，內(nèi)高15mm，外高25mm | |
| 石英管 | 200mm(OD)X190mm(ID)X450mm(H) | |
| 工作電壓 | 三相 AC380V 50Hz | |
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中頻電源 | 功率 | 35KW |
| 振蕩頻率 | 1~20KHZ | |
| 加熱電流 | 10~70A | |
| 加熱電壓 | 70~550V | |
| 負(fù)載持續(xù)率 | 99% | |
| 冷卻水要求 | ≥0.2MPa ≥6L/分 | |
| 保護(hù) | 帶有欠水壓、過熱、過功率保護(hù) | |
| 氣體分散裝置 |
多孔石英板位于石墨盤正上方，氣體從上法蘭進(jìn)氣口進(jìn)來后，經(jīng)過多孔石英板被分散之后與石墨盤中物料充分接觸，反應(yīng)更均勻 | |
| 穩(wěn)壓系統(tǒng)
| 穩(wěn)壓系統(tǒng)由真空泵、英國歐陸控制器、宇電控制器、壓力變送器、電容規(guī)等組成。 在進(jìn)氣量小于2000SCCM，此穩(wěn)壓系統(tǒng)可將腔體內(nèi)壓力控制在0~20000Pa范圍內(nèi)的某一數(shù)值。壓力波動±1Pa 宇電控制器和壓力變送器用于控制真空泵的啟動和粗略真空控制，壓力變送器量程-100KPa~100KPa 歐陸儀表和電容規(guī)用于精確控制真空，壓力測量范圍0~20000Pa | |
| 供氣系統(tǒng) | 供氣系統(tǒng)由質(zhì)量流量計，液晶屏，控制軟件組成，可在液晶屏上直接輸入流量數(shù)值，精準(zhǔn)控制流量 | |
| 物料升降平臺 | 物料可以通過自動升降平臺到加熱區(qū)、降下來后可從爐門處拿出。 1、升降平臺行程 300mm 2、升降平臺升降速度 0.1um-2000um/s 3、升降平臺上下都做了限位，限度的保護(hù)設(shè)備 4、放料取料都很方便 | |
| 不銹鋼支架 | 不銹鋼支架垂直固定在移動架子上，石英管和法蘭通過支撐板固定于不銹鋼支架上，非常牢固、緊湊 | |
| 下真空法蘭 | 下不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，并焊接有KF25接頭、KF16接口和進(jìn)氣閥門，KF25接頭上安裝有真空擋板閥，1米長波紋管連接于該閥和真空泵，KF16接口可接真空計 | |
| 上真空法蘭 | 上真空法蘭安裝有壓力表和進(jìn)氣閥，法蘭蓋配有2種，一種帶玻璃觀察窗，可觀察管內(nèi)物料融化的情況，一種熱電偶，可對物料進(jìn)行程序升溫 | |
| 耐火材料 | 爐管內(nèi)的耐火裝置由日本三菱1900型氧化鋁纖維制成，溫度可耐1800℃，頂部開有小孔，可插入熱電偶 | |
| 保護(hù)裝置 | 在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護(hù)使用者的安全 | |
| 控溫系統(tǒng)
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采用PID控制，可對物料進(jìn)行程序控溫加熱，可同時手動調(diào)節(jié)電流輸出大小，設(shè)備帶有過溫保護(hù) | |
| 熱電偶 | 鎢錸5/26 | |
| 控溫精度 | +/-5℃ | |
| 保護(hù)玻璃 | 在爐管的四周安裝有鋼化玻璃和固定鋼化玻璃的鋁型材，可以很好的保護(hù)使用者的安全 | |
| 真空泵 | 型 號 | YTP750-4H |
| 功 率 | 0.75KW | |
| 電源電壓 | 三相380V | |
| 轉(zhuǎn) 速 | 1420r/min | |
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水冷機(jī)（選購）
| 型 號 | HZ-03A |
| 揚(yáng)程 | 38M | |
| 制冷量 | 7.224*10³kcal/h | |
| 水箱容量 | 60L | |
| 輸入總功率 | 3.2KW | |
| 機(jī)器尺寸 | 520X1150X1145(長X寬X高) | |
| 認(rèn)證 |
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| 質(zhì)保期 | 1年，耗材除外 | |
| 注意事項(xiàng) | 1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對氣壓）的低壓條件下使用； 2、若用戶需要在氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，必須在進(jìn)氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設(shè)置要小于0.02MPa， 進(jìn)氣流量<200SCCM（200ml/min) 3、請您仔細(xì)閱讀說明書，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標(biāo)準(zhǔn)操作程序。在操作過程中請密切監(jiān)控并正 確控制反應(yīng)容器內(nèi)部壓力，否則，操作失敗可能導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害 4、對樣品加熱時，不建議關(guān)閉抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若氣閥關(guān)閉對樣品加熱，要時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防不可預(yù)見的損失 如您需要定制，請聯(lián)系我公司工程師 | |
本產(chǎn)品由石英管、爐體、升降裝置、不銹鋼水冷法蘭、耐火材料、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、穩(wěn)壓系統(tǒng)及中頻電源控制系統(tǒng)等組成：
1、爐體：爐體由電器柜，不銹鋼支架組成，不銹鋼支架固定在電器柜上，用于支撐法蘭。
2、不銹鋼支架：不銹鋼支架垂直固定在電器柜上，石英管和法蘭通過支撐板固定于不銹鋼支架上，非常牢固、緊湊
3、不銹鋼法蘭：上真空法蘭安裝有熱電偶和進(jìn)氣閥，熱電偶，可對物料進(jìn)行程序升溫。下不銹鋼法蘭上焊接有真空腔體，在真空腔體上開有爐門，可從該爐門拿取物料、腔體上焊接有KF25接頭，可接四通，安裝真空擋板閥，1米長波紋管連接于該閥和真空泵，KF16接口可接真空計
4、溫控系統(tǒng)和熱電偶：用PID控制，可對物料進(jìn)行程序控溫加熱，可同時手動調(diào)節(jié)電流輸出大小，設(shè)備帶有過溫保護(hù)
5、電器柜：由型鐵板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，靜電噴涂工藝。
6、水冷系統(tǒng)：由各種閥、管道等相關(guān)裝置組成，斷水時感應(yīng)電壓會聲光報警、自動切斷加熱電源。
7、加熱電源：電源采用，整套電源相當(dāng)于一臺電腦主機(jī)般大小，外觀小巧、
8、耐火材料：采用日本進(jìn)口氧化鋁纖維材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。
9、供氣系統(tǒng)：由質(zhì)量流量計、供氣管道、液晶顯示屏以及控制軟件等組成?？芍苯釉谝壕辽显O(shè)置氣體流量，數(shù)字顯示，控制精準(zhǔn)，操作簡單。
10、真空系統(tǒng)：由真空泵、真空管道、真空計、電阻規(guī)等組成，該設(shè)備真空度在10Pa左右。
11、穩(wěn)壓系統(tǒng)：由真空泵、英國歐陸控制器、宇電控制器、壓力變送器、電容規(guī)等組成，此穩(wěn)壓系統(tǒng)可將腔體內(nèi)壓力控制在某一數(shù)值，波動很小。
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