主要技術參數(shù)
| TL1200雙管管式爐
| 型號 | TL1200-D-C-I | TL1200-D-C-II |
| 功率 | 3.6KW | 3.6KW | |
| 外管尺寸(mm) | Dia 80(ID73）X1500 | Dia 100(ID93) X1500 | |
| 內(nèi)管尺寸（mm） | Dia 60(ID53）X1700 | Dia 80(ID73）X1700 | |
| 外形尺（LXDXH） | 2000X700X1500 | 2000X700X1500 | |
| 電源電壓 | 220V | ||
| 相數(shù) | 單相 | ||
| 加熱元件 | 進口瑞典Canthal A1 電阻絲 點擊進入資料下載 | ||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節(jié)。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | ||
| 控溫模式 | 智能PID | ||
| 斷偶保護和顯示 | 有 | ||
| 過溫保護 | 有 | ||
| 過流保護 | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | ||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | ||
| 電器 | 浙江正泰 | ||
| 可控硅 | 106/16E 德國西門康 | ||
| 溫度 | 1200 ℃ | ||
| 額定溫度 | 1100 ℃ | ||
| 升溫速率 | ≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） | ||
| 推薦升溫速率 | ≤15℃/ Min | ||
| 熱電偶型號 | K 型 | ||
| 加熱段長度 | 205+205mm | ||
| 電器認證 |
| ||
| 四周表面溫度 | ≤45℃ | ||
|
GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| 流量控制和檢測采用
D07-7C 質量流量計
| 量程和氣體 | 采用質子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型） |
| 耐壓 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | ||
| 線性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重復精度 | ±0.2% F.S | ||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||
| 工作溫度 | 5-45℃ | ||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | ||
| 接口 | Dia6 1/4” | ||
| VS-0.1抽氣系統(tǒng)
| 電源 | 220V | |
| 尺寸 | 600X600X600 | ||
| 波紋管 | KF25X1000mm | ||
| 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達 | 10 -1Pa | ||
| 真空擋板閥 | KF25 | ||
|
VRD-8真空泵
| 型號 | VRD-8 | |
| 極限分壓強 | 5X10-2 Pa | ||
| 進排氣接口 | KF25 | ||
| 電機轉速 | 1440RPM | ||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | ||
| 電機功率 | 0.4KW | ||
|
（方案二） | 型號 | ACP15 | |
| 電源 | AC100~240V 50/60HZ | ||
| 功率 | 450W | ||
| 抽、排氣接口 | KF25 | ||
| 重量 | 25KG | ||
| 氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||
| 極限真空度 | 0.02 Torr | ||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | ||
| 電阻真空計 | 型號 | ZDR-1 | |
| 功率 | 25W | ||
| 真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | ||
| 電阻硅 | ZJ-52T | ||
|
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計 （選購）
| 型號 | PCG554 | |
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | ||
| 真空計接口 | KF16 | ||
| 數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | ||
| 產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||
| 重量 | 5 lbs | ||
| 檢測氣體 | 可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 | ||
| 是否防腐 | 防腐 | ||
| 響應時間 | ≤30ms | ||
| 測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||
| 分子泵機組（選購）
| 機組輸入電壓 | 380V /220V | |
| 波紋管 | KF40X1000 | ||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||
| 機箱尺寸 | 600X600X600 | ||
| 分子泵
| 分子泵型號 | FJ620 | |
| 輸入電壓 | 380V | ||
| 分子泵進氣口法蘭 | DN160 | ||
| 分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||
| 分子泵極限壓強（Pa) | 6×10-7 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷卻水溫度 | <25℃< p=""> | ||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||
| 建議啟東壓強 | <100pa< p=""> | ||
| 前機真空泵RVP-6 （方案一）
| 功率 | 0.75KW | |
| 電壓 | 380V | ||
| 轉速 | 1450rpm | ||
| 進氣口徑 | KF25/KF40 | ||
| 前機泵抽氣速率（L/S） | 6 | ||
| 極限壓強 | 4X10 -2Pa | ||
|
德國Pfeiffer真空泵（方案二）
| 電壓 | 220V | |
| 功率 | 110W | ||
| 抽氣接口 | KF40 | ||
| 重量 | 150KG | ||
| 前機泵抽速 | 0.9m 3/ h | ||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | ||
|
復合真空計
| 復合真空計型號 | ZDF | |
| 電源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
Perfeer ACP15無油多級羅茨泵 
（方案一）
CVD系統(tǒng) 由供氣系統(tǒng)+雙管管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1200雙管管式爐+低真空系統(tǒng)組成
雙管管式爐不同于普通的管式爐，他是由雙管組成、襯底包覆在內(nèi)管上、形成一個環(huán)狀，這樣能夠大大的提高CVD生長的面積。
滑動式雙管爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是專門為在金屬箔（像銅箔、鋁箔等）上生長薄膜而設計，廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。這款雙管式爐以進口電阻絲康泰爾（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點。
雙管管式爐爐底安裝一對滑軌，可用手推滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/min。為取得快速加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得快速冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 國產(chǎn)電阻絲爐膛 VS 進口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲 Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
有時候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小 溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
、
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
7、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
可調真空：通過調節(jié)真空擋板閥閥門開關和用微電腦調節(jié)真空泵電機的轉速來實現(xiàn)雙管管式爐內(nèi)真空度在10-10000Pa之間某一范圍內(nèi)恒定。
雙管CVD系統(tǒng)標準配件
| 描敘 | 數(shù)量 | 圖片 |
| TL1200雙管管式爐 | 1 套 |
|
| 石英管（內(nèi)外石英管） | 各1根 |
|
| 雙管不銹鋼法蘭 | 1 套 |
右法蘭 左法蘭
|
| 不銹鋼爐鉤 | 1 個 |
|
| 氧化鋁爐塞 | 1對 |
|
| 高溫手套 | 1 雙 |
|
| 氧化鋁坩堝 | 1 個 |
|
| Ｋ型熱電偶 | 1個 |  |
| 485轉換接口和軟件（選配） | 1 套 |
|
| 說明書 | 1本 | |
| 法蘭支撐架 | 1 份 | |
| 供氣系統(tǒng)
| 1臺 |  |
| 抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
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