詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| VIF真空感應(yīng)熔煉爐
| 型號(hào) | VIF-2-D | |||
| 優(yōu)點(diǎn) | 這款設(shè)備可以做定向凝固爐使用，也可用于真空熔煉，做真空熔煉爐使用時(shí)，只需將冷卻池蓋上即可 | ||||
| 棒料粗度 | Φ10mm、Φ20mm | ||||
| 加熱溫度 | 2200度 | ||||
| 額定溫度 | 2100度 | ||||
| 發(fā)熱體（鎢、鉭）內(nèi)徑 | Dia40×90mm | ||||
| 高頻加熱電源
| 采用電源 | 高頻感應(yīng)電源 | |||
| 振蕩頻率 | 30-80KHZ | ||||
| 輸入功率 | 25KW | ||||
| 加熱電流 | 2-52A | ||||
| 冷卻水要求 | ≥0.2MPa ≥6L/分 | ||||
| 電源重量 | 35KG | ||||
| 負(fù)載持續(xù)率 | 99% | ||||
| 輸入電壓 | 三相380V 50或60HZ | ||||
| 加熱方式 | 感應(yīng)加熱 | ||||
| 腔體內(nèi)直徑 | 500mm | ||||
| 定向凝固坩堝 | 標(biāo)配石墨 | ||||
| 坩堝保護(hù)套 | 鋯石英或氧化鋁多晶體纖維或氮化硼保護(hù)套 | ||||
| 腔體內(nèi)示圖 | | ||||
| 腔體真空度（分子泵機(jī)組） | < 6X10 -4Pa | ||||
| 腔體充氣壓力 | < 0.05MPa | ||||
| 升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
| 過(guò)溫保護(hù) | 有 | ||||
| 過(guò)流保護(hù) | 有 | ||||
| 欠壓保護(hù)（水壓） | 有 | ||||
| 控溫模式 | 智能PID | ||||
| 控制精度 | ±1~ 5 ℃（600度以上） | ||||
| 溫度檢測(cè)方式 | 進(jìn)口紅外測(cè)溫儀，溫度范圍1000~3200℃ | ||||
| 技術(shù)方案 |
感應(yīng)線(xiàn)圈上放保護(hù)套，保護(hù)套內(nèi)裹碳?xì)?，增加保溫性能，碳?xì)謨?nèi)側(cè)是一層光亮的鉭片，可將熱量反射回發(fā)熱體，鉭片內(nèi)側(cè)是鎢發(fā)熱體，發(fā)熱體內(nèi)放坩堝，坩堝安裝在定向凝固桿上，發(fā)熱體被感應(yīng)發(fā)熱，發(fā)熱體和冷卻池質(zhì)檢有個(gè)溫度梯度場(chǎng)，坩堝內(nèi)的物料加熱熔化后隨著定向凝固桿慢慢下降，熔化的物料在這個(gè)均勻下降的溫度梯度場(chǎng)中晶格按一定的順序重新排列凝固，形成有序的晶體。 | ||||
| 定向凝固機(jī)構(gòu) |
定向凝固行程和速度，可通過(guò)左側(cè)觸摸屏控制，速度范圍在0.1μm/s~2000μm/s | ||||
| 真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝 | 可以 | ||||
| 觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||||
| 真空機(jī)組
| 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |||
| 波紋管 | KF40X1000 | ||||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||||
| 前機(jī)真空泵BSV30
| 功率 | 0.75KW | |||
| 電壓 | 380V | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 8 | ||||
| 極限壓強(qiáng) | 5X10 -1Pa | ||||
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復(fù)合真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | |||
| 電源 | 220V 55W | ||||
| 控制精度 | ± 1% | ||||
| 真空計(jì)測(cè)量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||||
| 二級(jí)泵 為分子泵 （方案一） | 分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）
| 分子泵型號(hào) | FJ620 | ||
| 輸入電壓 | 220V | ||||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||||
| 分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） | 600 | ||||
| 分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | ||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | ||||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||||
| 建議啟動(dòng)壓強(qiáng) | <10Pa | ||||
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| 二級(jí)泵為擴(kuò)散泵
（方案二） | 擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） | 電壓 | 220V | |
| 功率 | 1000W | ||||
| 極限真空度（在無(wú)泄露時(shí)） | 10E-5Pa | ||||
| 進(jìn)氣接口 | DN150 | ||||
| 出氣接口 | DN40 | ||||
| 注入油量 | 0.3L | ||||
| 抽氣速率（N2） | 1000L/S | ||||
| 水冷機(jī)（選購(gòu)） HZ-03A | 電源 | 3PH-380V/50HZ | |||
| 揚(yáng)程 | 40M | ||||
| 流量 | 16L/min | ||||
| 水箱容量 | 60L | ||||
| 制冷量 | 103Kcal/h | ||||
| 出入水口 | Rp1/2’’ | ||||
| 機(jī)器尺寸 | 1150×520×1145(長(zhǎng)X寬X高) | ||||
一、設(shè)備特點(diǎn)
1、采用臥式爐體，側(cè)部開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。
3、可以方便的更換不同的線(xiàn)圈以滿(mǎn)足不同大小的晶體生長(zhǎng)。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測(cè)溫儀，可以精確的測(cè)量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過(guò)溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長(zhǎng)。
二、結(jié)構(gòu)說(shuō)明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成 ，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過(guò)40℃。爐蓋采用前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，爐蓋打開(kāi)方式為手動(dòng)，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購(gòu)測(cè)溫元件時(shí))：溫控系統(tǒng)是由測(cè)溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測(cè)溫儀，把紅外測(cè)溫儀輸出的1-5V信號(hào)通過(guò)控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號(hào)，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個(gè)閉合回路，可以對(duì)爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。
| 序號(hào) | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 生產(chǎn)廠家 | 數(shù)量 |
| 1 | 爐體系統(tǒng) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 2 | 分子泵 | 中科科儀 | 1 臺(tái) |
| 3 | 進(jìn)口紅外測(cè)溫儀 | 美國(guó)雷泰 | 1 支 |
| 4 | 復(fù)合真空計(jì) | 成都睿寶 | 1 臺(tái) |
| 5 | IGBT專(zhuān)用電源 | 深圳雙頻 | 1 套 |
| 6 | 匯流水管 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 7 | 真空閥 | 川北科技 | 3 件 |
| 8 | 水冷線(xiàn)圈 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 2套 |
| 9 | 真空管路 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1 套 |
| 10 | 說(shuō)明書(shū) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 2 套 |
| 11 | 機(jī)械泵 | 寧波鮑斯 | 1臺(tái) |
| 12 | 溫度顯示器 | 廈門(mén)宇電 | 1臺(tái) |
| 13 | 觸摸配屏控制器 | 昆侖通態(tài) | 1套 |
| 14 | 水冷機(jī)（選購(gòu)） | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1臺(tái) |
| 15 | 高低速定向凝固升降機(jī)構(gòu) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
| 16 | 鋯石英保護(hù)套或氧化鋁多晶體纖維套或氮化硼保護(hù)套 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
| 17 | 不銹鋼雙層冷卻罐 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
| 18 | 二次加料器 | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
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