| 鎢 絲 定 向 凝 固 爐 | 型號(hào) | VWF-25-21-D | |
| 優(yōu)點(diǎn) | 1、外形緊湊，占地面積小 2、溫度高，溫度可到2100℃ 3、腔體潔凈，可生長(zhǎng)出高純度的單晶 4、進(jìn)口歐陸控溫儀表，控溫精度±0.1℃ 5、真空度高，配分子泵，真空度5×10-4Pa 6、操作簡(jiǎn)單，設(shè)備帶有一塊7寸觸摸屏，可在觸摸屏中設(shè)置工藝，簡(jiǎn)單便捷 | ||
| 原理 | 物料在加熱區(qū)熔化后，升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)坩堝勻速下降，坩堝通過(guò)一個(gè)均勻下降的溫度梯度場(chǎng)，熔融的物料晶格按照一定的順序重新排列結(jié)晶，形成有序的晶體 | ||
| 溫度 | 2100℃ | ||
| 加熱原件 | 高純鎢網(wǎng) | ||
| 有效工作尺寸 | Dia60X80mm | ||
| 保溫方式 | 鎢、鉬、不銹鋼隔熱屏 | ||
| 控溫模式 | 進(jìn)口歐陸儀表智能PID 500段程序控溫 | ||
| 升降機(jī)構(gòu) | 升降速度：0.1-2000μm/s 升降行程：0-100mm （可根據(jù)客戶需要定制） 轉(zhuǎn)速：0-40RPM | ||
| 腔體真空度（分子泵機(jī)組） | < 5X0 -4Pa （空爐、冷態(tài)） | ||
| 工作真空度 | < X10 -3Pa （空爐） | ||
| 腔體充氣壓力 | 0.05MPa | ||
| 升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||
| 過(guò)溫保護(hù) | 有 | ||
| 過(guò)流保護(hù) | 有 | ||
| 欠壓保護(hù)（水壓） | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1 ℃（600度以上） | ||
| 溫度檢測(cè)方式 | 鎢套管鎢錸熱電偶 | ||
| 升溫速率 | < 20度/Min | ||
| 真空腔體內(nèi)是否水冷 | 是 | ||
| 冷水機(jī)（選配） | 5P | ||
| 真 空 機(jī) 組 | 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |
| 波紋管 | KF40X1000 | ||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||
| 分子泵
| 分子泵型號(hào) | FJ620C | |
| 輸入電壓 | 220V | ||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||
| 分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） | 600 | ||
| 分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | ||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||
| 建議啟動(dòng)壓強(qiáng) | <10pa | ||
| 前級(jí)真空泵BSV-30
| 功率 | 0.75KW | |
| 電壓 | 380V | ||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 8 | ||
| 極限壓強(qiáng) | 4X10 -2Pa | ||
| 復(fù)合真空計(jì)
| 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | |
| 電源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空計(jì)測(cè)量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
| 冷水機(jī)（選購(gòu)）
| 型號(hào) | HZ-05A | |
| 電源 | 3PH-380V/50HZ | ||
| 輸入總功率 | 5.9KW | ||
| 制冷量 | 11696kcal/h | ||
| 水箱容量 | 80L | ||
| 揚(yáng)程 | 25M | ||
| 流量 | 4m3/h | ||
| 外形尺寸 | 1150×520×1140mm | ||
| 重量 | 180Kg | ||
一、設(shè)備特點(diǎn)及主要用途
1、基本原理與用途：在真空或氣氛保護(hù)情況下熔融原料，然后勻速下降坩堝，物料在一個(gè)均勻下降的溫度梯度場(chǎng)內(nèi)重結(jié)晶，晶格按照一定的順序重新排列，形成有序的晶體。本設(shè)備為周期作業(yè)式，按照用戶要求定制。
二、結(jié)構(gòu)組成
爐體、爐蓋、爐底、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、升降機(jī)構(gòu)、發(fā)熱體及隔熱屏等。
三、結(jié)構(gòu)說(shuō)明
1、爐體：為立式爐殼，其內(nèi)、外層均為304不銹鋼做成的圓筒，外層鏡面拋光處理。內(nèi)外筒與前后法蘭焊成一個(gè)整體，爐體開有電極孔、抽氣孔、放氣孔、熱電偶孔、紅外孔及觀察孔等，各接口的材質(zhì)均為不銹鋼。
2、爐蓋：由內(nèi)外封頭和法蘭焊成，中間可通水冷卻，爐蓋開啟裝置。
3、爐底：由內(nèi)外封頭和法蘭組成，中間通水冷卻，下部設(shè)有充放氣孔，固定在爐體下部，設(shè)有電極引出裝置。
4、升降機(jī)構(gòu)：升降機(jī)構(gòu)由電機(jī)、PLC、液晶屏組成。
5、發(fā)熱體及隔熱屏：發(fā)熱元件采用高純鎢制作成網(wǎng)狀，有效增加輻射面積，保證溫區(qū)的均勻性。隔熱屏采用4層鎢板，6層鉬板，最外層采用不銹鋼板支撐。
6、真空系統(tǒng)：
（1）主要由直聯(lián)泵、分子泵，氣動(dòng)擋板閥、電磁截止閥、數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)、真空管路、放氣閥、支架等組成；真空管道與泵之間采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接（減緩震動(dòng)）。
（2）真空主抽泵直聯(lián)泵（北儀優(yōu)成）、分子泵（北京科儀）。
（3）氣動(dòng)擋板閥（川北科技）GDQ-150 1臺(tái) GDQ-J40 2臺(tái)
（4）成都正華數(shù)顯真空計(jì)1臺(tái)。
（5）真空管路1套，由波紋管、三通管、真空泵、兩個(gè)40的真空擋板閥、接口彎管等組成（波紋管內(nèi)Φ40，三通管為40標(biāo)準(zhǔn)尺寸）。
7、控制系統(tǒng)：
采用英國(guó)歐陸儀表具有多項(xiàng)功能（3204）
1、5X16段程序控溫，可以分成16組程序，如果分成5組程序，每條程序?yàn)?0段，可以儲(chǔ)存多組程序、使用時(shí)可以任意調(diào)出；
2、歐陸3204具有PID控制，溫度能控制得很準(zhǔn)確；
3、具有過(guò)溫保護(hù)、過(guò)流保護(hù)和斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷等功能， ,（當(dāng)電爐溫度超過(guò)2120度或熱電偶 燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有效的保護(hù)電爐）；
4、儀表有華氏度（F）和攝氏度（C）可供選擇；
5、帶有485 通訊接口，具有自動(dòng)停機(jī)功能。
6、儀表精度為0.2級(jí)、液晶顯示屏、自定義畫面。
8、水冷系統(tǒng)：爐體、上下端蓋采用夾層水冷的結(jié)構(gòu)形式，在進(jìn)出水主管路上安裝水壓繼電器及壓力表，同時(shí)與控制柜連接，異常狀態(tài)時(shí)報(bào)警。能夠定性的觀察各分水路的水流大小。整個(gè)水冷系統(tǒng)確保各分路回水溫度不高于40℃（進(jìn)水溫度20℃）。水冷系統(tǒng)主進(jìn)直徑50mm、回水管直徑50mm（進(jìn)水壓力0.4MPa）。
四、設(shè)備安裝要求
1、電力：380V，三相五線制，20KW，50Hz
2、冷卻水：
- 耗量： 5m3/h
- 水壓：1~0.4Mpa
- 進(jìn)水水溫： ≤40℃
- 接口尺寸： 2寸內(nèi)絲連接
3、占地面積：1200mm（長(zhǎng)）×700mm（寬）×1600mm（高）
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