azbil壓力表型號 V8C/V8SV8
azbil壓力表型號 V8C/V8SV8
V8 型藍(lán)寶石隔膜真空計通過使用應(yīng)用 MEMS 加工技術(shù)的傳感器提高了抗沉積性。
受壓部分采用機(jī)械性能優(yōu)異、耐腐蝕、耐熱的單晶藍(lán)寶石，V8S的最高工作溫度為250℃。
通過提高抗沉積性減少停機(jī)時間
通過應(yīng)用MEMS加工技術(shù)，偏移量提高到原來的1/10。
應(yīng)力平衡結(jié)構(gòu)
壓力傳感部分外圓周的厚度
抵消了外圓周與中心部分的應(yīng)力平衡，使
壓力傳感部分不易變形，減少零點漂移。
通過對凹凸不平的傳感器
壓力傳感部分表面進(jìn)行凹凸處理，
將附著的薄膜分開，降低沉積物的應(yīng)力作用。
可在高達(dá) 250°C 的溫度下使用，與高溫工藝氣體兼容
對于 V8S，我們通過分離基板和傳感器并審查所用材料，實現(xiàn)了 250°C 的最高工作溫度。
由于小型化而減少占地面積
我們提高了內(nèi)部元器件的空間效率，體積減少了 40%。（與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比）
藍(lán)寶石隔膜壓力表型號 V8C/V8S
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