主要產(chǎn)品規(guī)格
物品 | 規(guī)格 |
電源 | AC100V,15A 3芯插頭帶地線 |
設(shè)備機(jī)身尺寸 | 寬 350 毫米 x 深 440 毫米 x 高 350 毫米 (設(shè)備重量 20 公斤) |
旋轉(zhuǎn)泵 | 排氣速度50?/min (GLD-051) (重量14.6kg) |
樣品室尺寸 | 內(nèi)徑 149 毫米 x 高 82 毫米(硬玻璃) |
電極樣品臺(tái)間距 | 50mm |
樣品臺(tái) | Φ100mm |
可安裝的樣品尺寸 | > Φ100mm(可安裝尺寸Φ130mm) 高度35mm |
飛濺靶金屬規(guī)格 | Φ100 mm(有效直徑98 mm),厚度0.1 mm Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag |
大氣氣體 | Air(空氣)或 Ar(氬氣) |
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