OAI INSTRUMENTS光源
OAI INSTRUMENTS是業(yè)內(nèi)生產(chǎn)可靠并精密設(shè)備的MEMS,半導(dǎo)體,納米技術(shù),潔凈室自動化和紫外線光測量的優(yōu)秀制造商。OAI系統(tǒng)可同時(shí)用于研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體,MEMS和微流體裝置。從光罩對準(zhǔn)和UV光源UV電力儀表,OAI是在同行業(yè)中的者超過35年。OAI光功率計(jì)以其測量精度,重復(fù)性著稱,測量數(shù)據(jù)符合美國NIST標(biāo)準(zhǔn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻能量測量及控制。
產(chǎn)品范圍:OAI INSTRUMENTS光源
美國OAI INSTRUMENTS曝光機(jī)、OAI INSTRUMENTS光刻機(jī)、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計(jì)、OAI INSTRUMENTS分析儀
主要型號:OAI INSTRUMENTS光源
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機(jī)簡介:
光刻方式:接近式,軟,硬,真空接觸式
曝光距離:0-3000μm
間隙調(diào)節(jié)步進(jìn):1um
機(jī)械精度:1.5um
光刻精度:軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機(jī)技術(shù)規(guī)格:
光刻方式:接近式,軟,硬,真空接觸式
基底尺寸:2-12寸晶圓或者zui大200mm方形
曝光分辨率:
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性:優(yōu)于±3%
對準(zhǔn)精度:頂面0.5um,底面1.0um(選件)
產(chǎn)量:180片/小時(shí)zui大
我司優(yōu)勢提供:
STORK-TRONIC 溫控探頭 TF PTC 6×100mm -35/105℃ 6m IP64
STUBBE(ASV-STUBBE) 氣動閥 TYP;K210 NO;644610802
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TAPFLO 氣動隔膜泵 TR20 TTT-7PV
TECMOTION 電動機(jī) SM4065-P32/4.28-E2-500-157-I 24V-1100tr/min+E2-500-157-1-D-D-B
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TECNOCABLAGGI 變壓器 COD.PSPMKS200003500004
TECSYSTEM 過負(fù)荷保護(hù) T-154 AC/DC 24-240V
TECSYSTEM 變壓器溫控器 T154ED 08 24+240Vdc/ac
TECSYSTEM 變壓器溫控器 T154ED 08 24+240Vdc/ac
TER 急停按鈕 PRSL1001PI
TER 凸輪開關(guān) PFA9067A0050005
TUNKERS 氣缸 PKS16-1-A00T03-105GRAD_構(gòu)型
VAISALA 溫濕度傳感器 HMW82
Val.co(valco) 浮球液位開關(guān) S1.B45.7.0100.O.FDPX
VALTEK 氣動增速器 Supply:150psi MAX conn:3/4-inch NPT
WALTHER(Walther Prazision) 接頭 HP-010-2-S1220-12-2
WATSON SMITH 電氣轉(zhuǎn)換器 422_4-20mA 3-15Psi
WATSON SMITH 電氣轉(zhuǎn)換器 INTRINSICALLY SAFE I/P CONVERTER:TYPE 122,輸入:4-20mA
WEIGEL 交流電壓變送器 V1U2.2 輸入0-115V 48-60HZ 輸出4-20MA 工作電源UH195-293V
WEIGEL 交流電流變送器 A1U2.2 輸入0-5V 輸出4-20MA 工作電源220V
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