一、概述
數(shù)字式四探針測試儀是半導(dǎo)體材料的電阻性能測量設(shè)備。儀器由主機(jī)、測試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
二、技術(shù)指標(biāo)
1、測量范圍：電 阻 率：0.0001～2000Ωcm（可擴(kuò)展）；
電 導(dǎo) 率：0.0005～10000s/cm；
方塊電阻：0.001～20000Ω（可擴(kuò)展）；
電 阻：0.0001～2000Ωcm。
2、模擬電阻測量相對(duì)誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1。
3、可測晶片直徑：140mm×150mm；200mm×200mm；400mm×500mm。
4、恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)。
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