全自動雙爐滑動CVD系統(tǒng)（1200℃ Max） OTF-1200X-S2-50SL-CV

·采用雙爐體滑動結(jié)構(gòu)。

·采用觸控一體機控制三個模塊系統(tǒng)。

·可存儲實驗參數(shù)生成工藝曲線，可調(diào)取工藝曲線一鍵運行設(shè)備。

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)。

·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，的減少能量損失。 

·電壓：單相 AC220V 50/60Hz

·溫度: 1200℃ (<30min)>

·額定溫度: 1100℃

·推薦升溫速率：≤10℃/min

·加熱區(qū)長度200mm

·兩臺加熱爐功率：2.4KW

·高純石英管Ф50*1500mm

·設(shè)備總功率4KW

·加熱爐是手動滑動，可以選配電動（一臺爐子固定，一臺爐子滑動）

· 包含一款518系列型溫度控制器

· PID自動控溫系統(tǒng)

· 智能化30段可編程控制

· 默認DB9 PC通訊連接端口

· 控溫精度：±1℃

 所有的電氣元件都通過UL或MET認可，并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測試

· 一套Ф50不銹鋼密封法蘭

· 法蘭和石英管采用，O型圈+壓環(huán)+O型圈，螺紋壓緊密封

· 左側(cè)法蘭裝有機械壓力表、針閥、G1/4進氣口、機械泄壓閥（壓力超過0.02MPa自動泄壓）

· 右法蘭裝有壓力傳感器、電磁泄壓閥，KF25抽氣口

·四通道質(zhì)子流量控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量精確控制（±0.02%）

·流量范圍: 一路0-100SCCM

      二路0-200SCCM

        三路0-200SCCM

      四路0-500SCCM

·氣體進出口配件：6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管；

·電磁閥控制氣體進出

·可以通過觸控一體機進行流量設(shè)置

· 配套機械泵，真空度可以達到10-2 ttor

· 配套分子泵，真空度可以達到10-5 ttor（選配）

1.通過觸控一體機可以手動和自動控制加熱爐系統(tǒng)，供氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng)

2.預設(shè)工藝自動控制流程步驟如下圖

3.加熱爐溫度，管內(nèi)真空，進氣流量，這些數(shù)據(jù)可以實時記錄。如下圖

4.軟件有工藝曲線自動生成功能，把加熱爐溫度，真空度，進氣流量等參數(shù)進行存儲生成工藝流程，可以存儲100條工藝流程，也可以調(diào)出工藝流程一鍵自動運行設(shè)備。

5.具有遠程監(jiān)控和控制設(shè)備的功能。

6. 軟件具有可擴展型，可針對CVD系統(tǒng)進行硬件擴展，擴展范圍包括我公司所有類型CVD硬件設(shè)備

· 外形尺寸：2100*750*1220mm（長*寬*高 ）  

約210kg

1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）