腔體為一高純石英管

尺寸：  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作

頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口

底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口

法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其真空度可達(dá)到10-5 torr

兩個法蘭都可以通過手動操作進(jìn)行上下移動

一個數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內(nèi)真空度

可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）

由兩組IR紅外燈管進(jìn)行加熱

額定功率800 W    總功率：1600W 

為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上

一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部

緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時樣品基片上的溫度更加均勻

3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料

兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

兩個控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫

可以選購PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中

兩個加熱區(qū)域單獨(dú)工作的溫度： <>

兩個加熱區(qū)域溫差: <>

加熱速率:   > 8 oC /S

冷卻速率:   > 10  oC /S  ( 600 - 100oC)

208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關(guān)）

可在本公司選購真空泵和水冷系統(tǒng)

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一年質(zhì)保期  (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 )

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