基本參數(shù) | 石英舟是由超高純度(4N純度)制成的,用于擴散、氧化和退火, 1200℃。 每只能攜帶一個尺寸的晶圓,最多25片,直徑從1"到12",0.5毫米厚
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石英舟(可用于晶圓擴散處理1"-12")
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