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合肥科晶材料技術(shù)有限公司

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1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類(lèi)別:三通
  • 所在地:合肥市
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時(shí)間:2025-02-26 11:13:34
  • 瀏覽次數(shù):1
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  • 經(jīng)營(yíng)模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:2205條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊(cè)時(shí)間:2023-09-14
  • 最近登錄:2023-09-14
  • 聯(lián)系人:劉蕓
  • 電    話(huà):18256065710
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào): GSL-1700X-F3LV 產(chǎn)品概述: GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),溫度可以達(dá)到1700°C,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

詳情介紹
管式爐結(jié)構(gòu)

· 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失

內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命


加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根) 


工作溫度

1650℃(<>(更新時(shí)間:19.12.10--JS2)

1600℃(長(zhǎng)期工作溫度)


升溫速率

 5/min


降溫速率

 5/min


加熱區(qū)長(zhǎng)度

 455mm (18")


溫控系統(tǒng)

· 一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制,通過(guò)可控硅 SCR

· 可設(shè)置30段升降溫程序

· 控溫儀表操作視頻

帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)


控溫精度

+/-1


爐管材質(zhì)和尺寸

· 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管

· (標(biāo)配)OD: 60 mmID: 50mm x1000 mm L   

(選配)OD: 80 mmID: 70mm x1000 mm L


密封法蘭

· 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表(圖片中的藍(lán)表為選配)和閥門(mén)

· 通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr 

泄漏率6 mtorr/min


輸入電源

 AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:5KW


真空泵和配件

真空泵:· 一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi)

            通過(guò)此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr

 配件:· 標(biāo)配的真空配件: 一對(duì)不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個(gè)不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭

      · 一個(gè)1000mm長(zhǎng)的KF-25 不銹鋼波紋管和四個(gè)KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍

      · 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x 10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種

       類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)

         blob.png




氣體流量計(jì)

· 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。

· 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 

· 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. 

· 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.

·  一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力

· 四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上

        Front Panel                     Back Panel                   Gas Routes


運(yùn)輸信息

產(chǎn)品尺寸


· 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管

· 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H

混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組: 600 x 600 x 700mm

凈重

450 lb (總計(jì))

運(yùn)輸重量

500 lb (總計(jì))


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件


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