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概要

質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測(cè)量，需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

適用于高溫：可滿(mǎn)足150℃烘焙
產(chǎn)品陣容中有可滿(mǎn)足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)
超清潔類(lèi)型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造
MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

規(guī)格

SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8440LSL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8450LSL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8455LSL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8460LSL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8440LSM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8450LSM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8455LSM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8460LSM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8440LSH

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8450LSH

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8455LSH

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8460LSH

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	50/100 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8440SL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8450SL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	3/5/10 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8455SL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8460SL

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	20/30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8440SM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8450SM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	3/5/10 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8455SM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8460SM

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316L
閥門(mén)類(lèi)型	NO: 非通電時(shí)：開(kāi)
標(biāo)準(zhǔn)流量量程	20/30/50 SLM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程) 　使用溫度：100?120℃