概要
作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關注。這些要求對氣體供給系統(tǒng)，也就是被稱為關鍵設備的質(zhì)量流量控制器來說有很緊密的聯(lián)系。而批量使用搭載了在成本表現(xiàn)方面優(yōu)勢明顯的電磁閥的質(zhì)量流量控制器，則可符合制程要求。
特征
- 采用金屬避風墊圈
可對應腐蝕性氣體
- 搭載異常報警功能
警報輸出功能為其標準搭載
規(guī)格
?SEC-E400J
| 氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時:閉標準 |
| 流量范圍 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
?SEC-E450J
| 氣體連接部材質(zhì) | SUS-316L,Teflon |
|---|---|
| 磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式 | 非通電時:閉標準 |
| 流量范圍 | 20/30 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(全量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(全量程) |
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