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愛氪森科技PH3 磷化氫氣體傳感器介紹

2024-01-27 08:54:46來源：德國EC Sense 閱讀量：83 評(píng)論

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導(dǎo)讀：PH3磷化氫是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的氣體之一，可用于制造磷化氫化學(xué)氣相沉積(CVD)過程中，因此PH3磷化氫氣體傳感器在半導(dǎo)體制造業(yè)中廣泛應(yīng)用。

　　愛氪森科技PH3 磷化氫氣體傳傳感器采用三電極設(shè)計(jì)，可以連續(xù)進(jìn)行氣體濃度測(cè)量，傳感器主要由三電極系統(tǒng) (工作電極, 對(duì)電極, 參比電極)、固態(tài)電解質(zhì)組成，并在恒電位下工作，被氣體通過擴(kuò)散孔到達(dá)傳感器的工作電極，在電極的多孔微觀表面發(fā)生電化學(xué)氧化或還原反應(yīng)，反應(yīng)的質(zhì)子通過聚合物電解質(zhì)遷移到對(duì)電極，電流信號(hào)大小與被測(cè)氣體濃度成正比。由第一菲克定律表示：i = nFDC
 
　　因此，流過的電流與目標(biāo)氣體的濃度成正比，參比電極與恒電位儀保持電位恒定。
 

       優(yōu)點(diǎn)與特性
 
　　???
 
　　· 靈敏度高
 
　　0-20ppm量程范圍，分辨率可達(dá)到0.01ppm，長期使用穩(wěn)定性很好，可在持續(xù)PH3氣體的熏蒸環(huán)境中長時(shí)間使用；
 
　　· 抗中毒
 
　　對(duì)高濃度氣體沖擊無中毒現(xiàn)象，一定時(shí)間內(nèi)可自行恢復(fù)；
 
　　· 耐高濕無漏液
 
　　可在高濕環(huán)境下長期工作，無漏液現(xiàn)象，傳感器性能保持穩(wěn)定；
 
　　· 壽命更長
 
　　采用非消耗型固態(tài)電解質(zhì)技術(shù)，工業(yè)環(huán)境下長期使用靈敏度衰減?。?br /> 
　　· 微小尺寸
 
　　可實(shí)現(xiàn)多參數(shù)集成設(shè)備應(yīng)用，便攜可穿戴設(shè)備集成；
 
　　· 智能算法補(bǔ)償
 
　　通過對(duì)環(huán)境中的溫濕度變化數(shù)據(jù)采集，對(duì)傳感器進(jìn)行有效的算法自動(dòng)補(bǔ)償，確保精準(zhǔn)檢測(cè)；
 
　　·溫度范圍
 
　　可在-40°C~55°C環(huán)境下正常工作；
 
　　·線性度高
 
　　全量程線性測(cè)量，滿足高精度< ±5%FS
 
　　輸出信號(hào)多樣化
 
　　???
 
　　·TTL UART Modbus RTU，I2C, SPI；
 
　　· 4-20mA, RS485, Wifi, LoRa, 4G；
 

       應(yīng)用領(lǐng)域
 
　　???
 
　　實(shí)現(xiàn)高精度的PH3磷化氫氣體濃度檢測(cè)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)可能存在的泄漏和安全隱患，并采取相應(yīng)的措施，確保工作環(huán)境的安全和人員的健康。因此，PH3磷化氫氣體傳感器對(duì)于保護(hù)人員的安全和減少環(huán)境污染具有重要意義。以下是主要典型的一些行業(yè)應(yīng)用：
 
　　? 半導(dǎo)體行業(yè) ?
 
　　PH3磷化氫是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的氣體之一，可用于制造磷化氫化學(xué)氣相沉積(CVD)過程中，因此PH3磷化氫氣體傳感器在半導(dǎo)體制造業(yè)中廣泛應(yīng)用。
 
　　? 糧食儲(chǔ)藏 ?
 
　　磷化氫還是糧食儲(chǔ)藏過程熏蒸殺蟲，殺菌，防止糧食長期存放腐敗變質(zhì)。
 
　　? 農(nóng)業(yè)生產(chǎn) ?
 
　　PH3磷化氫可作為農(nóng)業(yè)殺蟲劑，因此在農(nóng)業(yè)行業(yè)中使用PH3磷化氫氣體傳感器可檢測(cè)到可能存在的磷化氫泄漏情況，保證工作環(huán)境的安全。
 
　　? 石油化工 ?
 
　　PH3磷化氫可以在一些煉油過程中作為脫硫劑使用，因此在石油化工行業(yè)中也需要使用PH3磷化氫氣體傳感器來檢測(cè)磷化氫的存在和濃度。
 
　　? 實(shí)驗(yàn)室 ?
 
　　PH3磷化氫氣體傳感器可以用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，檢測(cè)PH3磷化氫的存在，確保實(shí)驗(yàn)室中的安全。
 
　　EC Sense的氣體傳感器在各大行業(yè)及領(lǐng)域均得到了廣泛應(yīng)用，尤其在工業(yè)監(jiān)測(cè)領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)PPB級(jí)檢測(cè)分辨率，抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定可靠，測(cè)量精度得到大大提升，用戶認(rèn)可度高，尤其在工業(yè)安全領(lǐng)域中便攜式檢測(cè)儀、固定式工業(yè)探測(cè)報(bào)警器、氧氣分析儀、在線式監(jiān)測(cè)系統(tǒng)集成等。
 
　　原標(biāo)題：PH3 磷化氫氣體傳感器(愛氪森科技)
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