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北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)在高響應(yīng)度光通信探測器研究中取得進(jìn)展

2024-05-29 08:45:26來源:北京大學(xué) 閱讀量:59 評論

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導(dǎo)讀:石墨烯具有優(yōu)異的電學(xué)及光電性能,作為光電探測器展現(xiàn)出高通信帶寬和可與硅光集成的顯著優(yōu)勢,在光通信領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。

  硅基光子平臺由于其低成本、高集成密度、低損耗等特性,被認(rèn)為是下一代光通信的解決方案,有望取代傳統(tǒng)的三五族半導(dǎo)體光模塊,進(jìn)一步縮小器件體積,提高光通信系統(tǒng)集成度。然而,硅材料的固有性質(zhì)限制了其作為有源器件如探測器、調(diào)制器的應(yīng)用,亟需與其他材料的異質(zhì)集成實(shí)現(xiàn)高性能片上光通信器件的制備。
 
  石墨烯具有優(yōu)異的電學(xué)及光電性能,作為光電探測器展現(xiàn)出高通信帶寬和可與硅光集成的顯著優(yōu)勢,在光通信領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。然而,由于單層石墨烯較弱的光吸收特性,石墨烯光探測器普遍具有較低的光響應(yīng)度,限制了其在高性能光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用,是目前石墨烯硅光集成探測器所面臨的瓶頸難題。
 
  針對以上問題,北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授課題組與北京大學(xué)電子學(xué)院王興軍教授、尹建波研究員合作,提出了高響應(yīng)度石墨烯探測器的設(shè)計(jì)策略,利用扭轉(zhuǎn)雙層石墨烯作為光吸收材料,實(shí)現(xiàn)了兼具高響應(yīng)度和高帶寬的硅波導(dǎo)集成扭轉(zhuǎn)雙層石墨烯光探測器的制備,相關(guān)工作以“Waveguide-integrated twisted bilayer graphene photodetectors”為題,于2024年5月1日發(fā)表在《自然·通訊》(Nature Communications)期刊上(Nature Commun. 2024, 15, 3688)。
 
論文封面
 
  近年來,彭海琳課題組主要從事二維材料物理化學(xué)與納米器件研究,致力于高遷移率二維材料(石墨烯、拓?fù)浣^緣體、氧硫族半導(dǎo)體)的控制合成、界面調(diào)控和器件應(yīng)用研究。與合作者在國際上率先實(shí)現(xiàn)了4英寸超平整單晶晶圓石墨烯的生長(ACS Nano2017,11, 12337)和可規(guī)?;苽?ScienceBull. 2019, 64, 659),并實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量扭轉(zhuǎn)雙層石墨烯的生長(Nat. Commun.2021, 12, 2391),構(gòu)筑了基于扭轉(zhuǎn)雙層石墨烯的光電探測器件(Nat. Commun.2016, 7, 10699),以及大面積超平整石墨烯單晶晶圓轉(zhuǎn)移-集成型熱電子發(fā)光器件(Nat. Commun.2022, 13, 5410)。
 
  最近,彭海琳課題組將扭轉(zhuǎn)雙層石墨烯(tBLG)與硅光集成,通過對扭轉(zhuǎn)角度的設(shè)計(jì),使tBLG能帶中范霍夫奇點(diǎn)(vHs)的能級差與1550nm通信波段的光子能量相匹配,顯著增強(qiáng)了與光的耦合效率;另外,tBLG能帶在接近狄拉克點(diǎn)處的線性色散關(guān)系使其具有與單層石墨烯接近的超高遷移率,保證了器件具有優(yōu)秀的高頻性能。仿真結(jié)果表明,tBLG相比于單層石墨烯具有約3倍的耦合效率提升,可以有效縮短溝道長度,并提升光響應(yīng)度。
 
  圖1 波導(dǎo)集成tBLG探測器的結(jié)構(gòu)、器件設(shè)計(jì)及材料表征。(a)波導(dǎo)集成tBLG探測器的結(jié)構(gòu)示意圖;(b)tBLG的能帶結(jié)構(gòu);(c)在1550 nm的入射光下tBLG的光學(xué)電導(dǎo)率;(d)波導(dǎo)集成tBLG探測器的光吸收效率仿真結(jié)果;(e)tBLG的光學(xué)顯微鏡照片;(f)tBLG的透射電子顯微鏡表征
 
  通過理論計(jì)算,當(dāng)tBLG的扭轉(zhuǎn)角為4.1°時,vHs距狄拉克點(diǎn)相差0.4eV,正好為1550nm(0.8 eV)光子能量的一半,此時光耦合效率最高。結(jié)合器件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),可在僅8μm的器件長度下實(shí)現(xiàn)最高0.65A/W的高光響應(yīng)度,多個器件平均光響應(yīng)度為0.54A/W,顯著優(yōu)于單層石墨烯及AB堆疊的雙層石墨烯器件。
 
圖2 波導(dǎo)集成tBLG探測器的光響應(yīng)度表征
 
  該石墨烯硅光器件在具有高的光響應(yīng)度之外還兼具高的工作帶寬,其3dB帶寬可達(dá)到65GHz(受限于測量儀器),在50Gbit/s的通斷鍵控調(diào)制格式下顯示出清晰的眼圖信號,器件的功耗低達(dá)0.8pJ/bit,展現(xiàn)出在光通信中的應(yīng)用潛力。
 
圖3 硅波導(dǎo)集成tBLG探測器的高頻響應(yīng)表征
 
  為驗(yàn)證將大面積tBLG與硅光集成的可能性,該研究基于石墨烯薄膜可控疊層轉(zhuǎn)移技術(shù)構(gòu)筑了大面積的波導(dǎo)集成tBLG光探測器陣列,展現(xiàn)出36±2GHz的高帶寬及0.46±0.07A/W的高響應(yīng)度,具有良好的均一性能,證明了大規(guī)模集成tBLG并制備高性能光通信器件的可能性。
 
圖4 大面積波導(dǎo)集成tBLG探測器陣列的制備及性能表征
 
  該研究首次實(shí)現(xiàn)了扭轉(zhuǎn)雙層石墨烯與硅波導(dǎo)集成的光電探測器的制備,結(jié)合tBLG獨(dú)特的vHs能帶結(jié)構(gòu)及器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),展現(xiàn)了具有0.65A/W的高響應(yīng)度及65GHz(受限于測量設(shè)備)的3dB帶寬等優(yōu)異性能。另外,通過大面積tBLG器件陣列的制備,以及高響應(yīng)度(0.46±0.07A/W)及帶高寬(36±2GHz)性能的驗(yàn)證,證明了具有vHs和線性色散能帶結(jié)構(gòu)的tBLG與硅光異質(zhì)集成制備大規(guī)模高性能光通信器件的優(yōu)質(zhì)潛力,特別是考慮到可控扭轉(zhuǎn)角的tBLG晶圓級生長和石墨烯晶圓級轉(zhuǎn)移技術(shù)的發(fā)展。
 
  彭海琳與王興軍、尹建波為該文的共同通訊作者,北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院博士生武欽慈、博士后錢君、博士生王悅晨和北京大學(xué)電子學(xué)院研究生邢露文是該文的共同第一作者。其他主要合作者還包括北京大學(xué)化學(xué)學(xué)院劉忠范教授、劉洪濤副研究員、北京大學(xué)電子學(xué)院舒浩文研究員等。該研究工作得到了科技部、國家自然科學(xué)基金委、北京分子科學(xué)國家研究中心、新基石基金會等機(jī)構(gòu)和項(xiàng)目的資助,并得到了北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院分子材料與納米加工實(shí)驗(yàn)室(MMNL)儀器平臺的支持。
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