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中國膜工業(yè)協(xié)會(huì)關(guān)于《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》等三項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實(shí)施的通知

2024-06-08 14:02:36來源:中國膜工業(yè)協(xié)會(huì) 閱讀量:161 評(píng)論

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導(dǎo)讀:中國膜工業(yè)協(xié)會(huì)《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》等三項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實(shí)施。

  中國膜工業(yè)協(xié)會(huì)、中國膜工業(yè)協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)于2024年5月24日批準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》、《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝制程混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》、《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝拋光混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》三項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)予以發(fā)布。
 
  
       其中,《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法,適用于半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂。
 
  起草單位:江蘇蘇青水處理工程集團(tuán)有限公司,寧波爭光樹脂有限公司,西安藍(lán)曉科技新材料股份有限公司,南京大學(xué),鶴壁市海格化工科技有限公司,蚌埠市天星樹脂有限責(zé)任公司,中國船舶集團(tuán)有限公司第七一九研究所,北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司。
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