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岱美儀器精彩亮相CIOE中國光博會，展示光學(xué)測量創(chuàng)新成果

2024-09-15 14:15:20來源：化工儀器網(wǎng) 閱讀量：36 評論

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導(dǎo)讀：本次岱美儀器受邀參加本次光博會，攜帶多款產(chǎn)品參展，在展會現(xiàn)場大放異彩。

　　中國國際光電博覽會(以下簡稱“CIOE中國光博會”)是專注于光電行業(yè)的國際知名展覽會，自1999年創(chuàng)辦以來廣受業(yè)界好評，展會規(guī)模不斷擴大。2024年9月11日至13日，第二十五屆CIOE中國光博會在深圳國際會展中心盛大舉行。本次展會展廳多達12個，展示面積超24萬平方米，吸引了全球超過3700家優(yōu)質(zhì)企業(yè)參與。
 
展位現(xiàn)場
 
　　岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司成立于1989年，是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商，主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持，并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。本次岱美儀器受邀參加本次光博會，攜帶多款產(chǎn)品參展，在展會現(xiàn)場大放異彩。
 
展會現(xiàn)場
 
　　岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品：晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器等。本次岱美展示了QuickPRO精密計量產(chǎn)品和FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)等產(chǎn)品。
 
　　QuickPRO精密計量產(chǎn)品
 
QuickPRO精密計量產(chǎn)品
 
　　精密加工、PCBs、ASICs和光學(xué)(球面、非球面、衍射、微透鏡、注塑、薄膜)的高速表面檢測OATI的QuickPROIM計量系統(tǒng)利用多達兩個相對的彩色共焦光學(xué)傳感器來提供非接觸式z軸測量精度低于50nm，空間數(shù)據(jù)采樣低至2μm。此外，對于表面計量中最敏感的應(yīng)用，我們還提供干涉版(QuickPROTMOCT)用于超敏(<5nm)應(yīng)用。
 
　　QuickPRO"精密計量產(chǎn)品的單傳感器平臺(QuickPROTM RPS和QuickPROTM 3D)為您提供了一個簡單、可靠、具有戰(zhàn)略意義的高精度表面計量基準，而我們的雙傳感器平臺(QuickPROTM CUBE-Mini和QuickPROTM CUBE-100)允許在不需要移動被測單元的情況下進行雙面表征，其優(yōu)點是增加了測量楔形和表面偏心的能力。
 
　　QuickPRO"精密計量產(chǎn)品為緊湊型臺式裝置，帶集成外殼和隔振操作；納米級精密直線電機載物臺，用于定制掃描程序，覆蓋范圍可達150毫米(200毫米掃描能力正在開發(fā)中)；Al/機器人兼容的控制軟件，實現(xiàn)全自動化能力；利用超靈敏數(shù)據(jù)可視化識別地表變化的點云分析程序；高動態(tài)范圍檢測程序，用于表征與法線成45度角的表面。
 
　　FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)
 
FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)
 
　　FR-ES用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)配件包括：濾光片可適用光刻膠測量、FR-Mic用于微米級別區(qū)域測量、各種手動/自動載物臺等，100x100mm或200x200mm、用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測量的薄膜/比色皿支架、用于漫反射和全反射的積分球、API二次軟件開發(fā)、接觸式探頭-ST是用于彎曲樣品反射率膜厚測量的獨特附件等。
 
　　FR-pOrtable: USB供電膜厚儀現(xiàn)場適配器：用于在需要點進行測量；透射模塊：用于測量涂層的透射和吸收光譜、涂層厚度等；手動XY平臺：用于表征多個位置的涂層(手動移動)。
 
　　LAS-P-VIS™ 定心儀（偏心儀）
 
　　

 LAS-P-VIS™ 定心儀
 

　　LAS-P-VIS™定心儀是一個中等大小的非接觸式透鏡對準和檢測儀，從地面開始設(shè)計，用于單元件、雙透鏡、三重透鏡和多元件透鏡組件的精密透鏡集中和傾斜測量，半徑范圍從+/-1mm到無限遠(平面)，直徑從1mm到300mm，包括球面、非球面、圓柱形和拋物面。所有這一切都可以用一個單一的物鏡，允許快速和簡易的測量。
 
　　LAS-P-VIS™定心儀為中型、實心花崗巖結(jié)構(gòu)，剛性被動隔振架；測量小到中等直徑透鏡和組件(約300毫米)；高功率綠色(520nm)激光器，光纖耦合到光模塊；90毫米工作距離(WD)物鏡，帶有附件快速連接螺紋；用戶友好的CalcuLens™組裝軟件和符合ISO標準的數(shù)據(jù)報告功能；亞微米級對中精度。
 
　　多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300
 
　　

 

多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300
 
　　多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300是一個基于模塊化和改進的SmartNIL模塊的獨立系統(tǒng)，可以根據(jù)處理和自動化水平進行配置。EVG7300支持從150毫米到300毫米的晶圓尺寸，具有低至300納米的高精度對準，先進的過程控制和高吞吐量，可以滿足各種自由形狀和高精度納米和微光學(xué)元件和器件的先進研發(fā)和大批量制造需求。
 
　　這一產(chǎn)品旨在服務(wù)廣泛的新興應(yīng)用，包括微和納米壓印以及功能層的紫外線堆疊。該設(shè)備可以增強晶圓級光學(xué)，納米光子學(xué)，超表面和生物醫(yī)學(xué)芯片的工藝性能，可適用于自動駕駛，汽車和裝飾照明中的微透鏡陣列和投影儀，生物識別認證的衍射光學(xué)器件以及復(fù)雜元透鏡。
 
　　岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司憑借其卓越的產(chǎn)品與技術(shù)支持，在展會中贏得了廣泛贊譽與關(guān)注。QuickPRO精密計量產(chǎn)品和FR-ES精巧型薄膜表征系統(tǒng)的精彩亮相，不僅展示了岱美在光學(xué)測量領(lǐng)域的深厚底蘊與創(chuàng)新實力，更為行業(yè)帶來了全新的技術(shù)視角與解決方案。未來，岱美儀器將不斷推動光學(xué)測量技術(shù)的創(chuàng)新與發(fā)展，為全球客戶提供更加精準、高效、全面的測量解決方案。
 
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