移動端


科研人員發(fā)展出新型聚合物半導(dǎo)體交聯(lián)劑

2024-12-06 08:53:11來源：中國科學(xué)院化學(xué)研究所 閱讀量：18345 評論

分享：

　　高遷移率聚合物半導(dǎo)體的設(shè)計合成已取得進展，但將聚合物半導(dǎo)體的可溶液加工、本征柔性這些獨特性質(zhì)應(yīng)用于集成電路面臨困難。在集成電路中，對聚合物半導(dǎo)體進行圖案化加工，可以降低漏電流，避免相鄰器件間的串擾，降低電路整體功耗。目前，可控光化學(xué)交聯(lián)技術(shù)是與現(xiàn)有微電子工業(yè)光刻工藝相兼容的圖案化方式。特別是，發(fā)展高效的化學(xué)交聯(lián)劑至關(guān)重要。
 
　　中國科學(xué)院化學(xué)研究所張德清課題組在前期成果的基礎(chǔ)上，發(fā)展了側(cè)鏈末端含氟代芳基疊氮的新型聚合物半導(dǎo)體交聯(lián)劑。該研究以常用小分子交聯(lián)劑4Bx為參比，評估了PN3對n型、p型和雙極型聚合物半導(dǎo)體的光刻圖案化性能。研究發(fā)現(xiàn)，PN3比小分子交聯(lián)劑4Bx具有更高的靈敏度；PN3與3種聚合物半導(dǎo)體共混后，薄膜的表面形貌、鏈間堆積及遷移率幾乎不受圖案化過程影響。
 
　　進一步，研究顯示，該聚合物半導(dǎo)體交聯(lián)劑的光刻性能優(yōu)于小分子交聯(lián)劑。這是由于氟代苯基疊氮均勻分布在聚合物側(cè)鏈末端，一個聚合物分子上有多個交聯(lián)位點；相比于常用的小分子交聯(lián)劑，聚合物半導(dǎo)體交聯(lián)劑在常規(guī)聚合物半導(dǎo)體薄膜中分散得更均勻。
 
　　上述研究為光刻加工柔性集成電路提供了可能的材料設(shè)計思路。
 
　　近日，相關(guān)研究成果發(fā)表在《先進材料》(Advanced Materials)上。研究工作得到國家自然科學(xué)基金委員會、科學(xué)技術(shù)部和中國科學(xué)院的支持。
 
側(cè)鏈含氟代芳基疊氮的聚合物半導(dǎo)體交聯(lián)劑
版權(quán)與免責聲明：1.凡本網(wǎng)注明“來源：興旺寶裝備總站”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-興旺寶合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：興旺寶裝備總站”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。 2.本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非興旺寶裝備總站）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。 3.如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
我來評論

昵稱 驗證碼

文明上網(wǎng)，理性發(fā)言。（您還可以輸入200個字符)

所有評論僅代表網(wǎng)友意見，與本站立場無關(guān)

    相關(guān)新聞