能生產3nm!中科院成功研發(fā)全固態(tài)DUV光源技術:完全不同于ASML
中科院的固態(tài)DUV激光技術完全基于固態(tài)設計,由自制的Yb:YAG晶體放大器生成1030nm的激光,在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。- 2025-03-27 08:51:19 8216
- 全固態(tài)DUV光源技術光刻機
能生產3nm!中科院成功研發(fā)全固態(tài)DUV光源技術:完全不同于ASML
中科院的固態(tài)DUV激光技術完全基于固態(tài)設計,由自制的Yb:YAG晶體放大器生成1030nm的激光,在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。Intel宣布世界最先進光刻機投產!晶圓生產效率/可靠性翻倍
Intel宣布,ASML首批兩臺高數值孔徑(High-NA EUV)極紫光刻機已經在其工廠投入生產。據悉,Intel利用先進光刻機已在一季內生產3萬片晶圓,這些晶圓可以產出數千顆計算芯片。
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