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CSEAC中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)今日開(kāi)幕,匯專超聲機(jī)床搭配整體PCD刀具高效加工方案引全場(chǎng)關(guān)注!
導(dǎo)讀:匯專科技攜新一代超聲高效精密雕銑中心、超聲加工系統(tǒng)、超硬刀具和DDR立式高速轉(zhuǎn)臺(tái)等一系列核心技術(shù)產(chǎn)品亮相第十一屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)——A3-T167展位,并就匯專超聲綠色機(jī)床在半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新應(yīng)用發(fā)表主題演講!
【機(jī)床商務(wù)網(wǎng)欄目 企業(yè)參展】8月9日,第十一屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)(CSEAC)在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心盛大開(kāi)幕,該展會(huì)是我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件行業(yè)具有權(quán)威性的展覽會(huì)之一。
匯??萍紨y新一代超聲高效精密雕銑中心、超聲加工系統(tǒng)、超硬刀具和DDR立式高速轉(zhuǎn)臺(tái)等一系列核心技術(shù)產(chǎn)品亮相A3-T167展位,并就匯專超聲綠色機(jī)床在半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新應(yīng)用發(fā)表主題演講,與來(lái)自四面八方的業(yè)內(nèi)同仁一起探討交流半導(dǎo)體零部件加工領(lǐng)域創(chuàng)新性工藝解決方案,展位現(xiàn)場(chǎng)氣氛熱烈!
01 重點(diǎn)展品
02 匯專創(chuàng)新方案
1 單晶硅噴淋盤(pán)鉆孔加工
單晶硅噴淋盤(pán)是應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片蝕刻環(huán)節(jié)的關(guān)鍵部件。單晶硅作為硬脆性材料,加工過(guò)程容易產(chǎn)生崩缺,同時(shí)該工件孔深徑比高達(dá)51:1,加工難度非常大??蛻魺o(wú)成熟方案加工此種超深微孔,孔壁粗糙度和孔真圓度均達(dá)不到品質(zhì)要求。使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600,搭配超聲輔助加工系統(tǒng)及整體PCD鉆頭,可連續(xù)加工1,000多個(gè)D0.45x23mm的超深微孔(深徑比 51:1);盲孔加工,入口處目視無(wú)崩缺;孔壁粗糙度Ra 0.088μm,比傳統(tǒng)加工粗糙度降低99%;孔真圓度達(dá)0.003mm。
2 鋁基碳化硅工件螺紋孔加工
鋁碳基化硅工件螺紋孔加工,客戶原加工方案單孔加工時(shí)間超3,600秒,耗時(shí)長(zhǎng),效率低;容易出現(xiàn)廢螺紋孔,造成工件報(bào)廢,良率低;需要6把絲錐才能加工完成一個(gè)孔,刀具壽命<1個(gè)孔,無(wú)法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn);使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-400搭配超聲輔助加工系統(tǒng)及整體PCD螺紋銑刀,一把刀具可加工超54個(gè)孔,刀具壽命提升300倍以上;加工效率顯著提升,加工單孔時(shí)間僅需360秒,可實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)。
3 石英玻璃噴淋盤(pán)鉆孔加工
加工石英玻璃噴淋盤(pán),要求做到高效、高質(zhì)盲孔加工,但材料在加工過(guò)程中容易崩邊,加工效率和工件良率均為低下水平;使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600搭配超聲輔助加工系統(tǒng)及整體PCD鉆頭,加工效果顯著優(yōu)化。匯專整體PCD鉆頭可連續(xù)加工1,200個(gè)D0.5×5.0mm的孔,深徑比達(dá)10:1;單孔加工時(shí)間由傳統(tǒng)的270秒下降至75秒,加工時(shí)間縮短72%;孔壁光滑,孔口崩邊量由0.4mm下降到0.13mm,降低了67%。
03 主題演講
匯??萍技瘓F(tuán)股份有限公司半導(dǎo)體行業(yè)拓展部總監(jiān)李偉先生就匯專超聲綠色機(jī)床在半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新應(yīng)用發(fā)表主題演講,多個(gè)案例全面展示匯專特色方案。他表示,超聲技術(shù)搭配整體PCD刀具突破半導(dǎo)體硬脆材料高效精密加工瓶頸,對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)單晶硅、石英玻璃、鋁基碳化硅、氧化鋁、石墨、氮化硅等難加工材料具有顯著的加工優(yōu)勢(shì)。匯專超聲綠色機(jī)床及超聲綠色工具在加工難加工材料方面的優(yōu)勢(shì),對(duì)于助力實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)零部件的高效、高質(zhì)加工,推動(dòng)構(gòu)建更健康良好的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境,實(shí)現(xiàn)本土產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展具有重大意義。
“芯”時(shí)代,“芯”發(fā)展,匯專攜手共創(chuàng)“芯”未來(lái)。目前中國(guó)數(shù)字信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展空間巨大,半導(dǎo)體行業(yè)是數(shù)字信息產(chǎn)業(yè)的根基,匯??萍紝⒗^續(xù)服務(wù)于國(guó)家戰(zhàn)略,堅(jiān)定不移推進(jìn)提升數(shù)控機(jī)床研發(fā)及生產(chǎn)能力,推動(dòng)完善國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ),增強(qiáng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力,助力國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)早日搶占“芯”賽道!
如果有半導(dǎo)體行業(yè)零部件加工需求,隨時(shí)聯(lián)系我們!
展會(huì)尚未結(jié)束,精彩仍在繼續(xù),
歡迎蒞臨匯專展位參觀交流!
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