激光測(cè)量平面度的方法

                                                         激光測(cè)量平面度的方法

平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。在傳統(tǒng)的檢測(cè)方法中，平面度的測(cè)量通常有：塞規(guī)/塞尺測(cè)量法、液平面法、激光平面干涉儀測(cè)量法（平晶干涉法）、水平儀/數(shù)字水平儀測(cè)量法、以及打表測(cè)量法。

　　塞尺測(cè)量法，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時(shí)隨地進(jìn)行平面度的粗測(cè)。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測(cè)。由于其精度不高，常規(guī)塞尺為10um，檢測(cè)效率較低，結(jié)果不夠全面，只能檢測(cè)零件邊緣。

　　液平面法，基于連通器工作原理，適合測(cè)量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度，但測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)，且對(duì)溫度敏感，僅適用于測(cè)量精度較低的平面。

　　激光平面干涉儀測(cè)量法，典型的用法是平晶干涉法。但主要于測(cè)量光潔的小平面的測(cè)量，如千分頭測(cè)量面，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡。

　　水平儀測(cè)量法，廣泛用于工件表面的直線(xiàn)度和平面度測(cè)量。測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測(cè)量時(shí)需要反復(fù)挪動(dòng)儀器位置，記錄各測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)，費(fèi)時(shí)、費(fèi)力，調(diào)整時(shí)間長(zhǎng)，數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。

　　打表測(cè)量法，典型應(yīng)用為平板測(cè)微儀及三坐標(biāo)儀，其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用廣泛。測(cè)量時(shí)指示器在待測(cè)樣品上移動(dòng)，按選定的布點(diǎn)測(cè)取各測(cè)量點(diǎn)相對(duì)于測(cè)量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，再經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)處理評(píng)定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個(gè)樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn)。

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    該激光測(cè)量平面度的方法測(cè)量效率高，精度高，檢測(cè)一個(gè)只要1-3秒，可以實(shí)現(xiàn)100%全檢。