改進的Alicat質量流量計和控制器的精度規(guī)范

Alicat的新版質量流量計和質量流量控制器擁有的流量精度新水平。通過改進的溫度和壓力補償，我們的流量測量更能抵抗溫度和壓力變化帶來的影響。電路板全部重新設計，增加了信噪比，并大大提高了原始傳感器數據采樣的分辨率。這些改進使得本就非常出色的Alicat質量流量儀表成為市場上的差壓流量測量系統(tǒng)之一。

Alicat設備現(xiàn)在比以往任何時候都更加

Alicat質量流量儀表的校準精度提升至±0.6%Rd或±0.1%F.S.，兩者以較大者為準(高精度校準精度提升至±0.5%Rd或±0.1%F.S.)

而我們老版本的流量儀表，標準校準精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.)，高精度校準精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.)。

量程比和分辨率規(guī)格從200:1和4位總數字提高到10000:1和5位總數字，并進行了補償改進，使流量分辨率規(guī)格提高了10倍。

圖一 Alicat 新老版本精度對比

用一個Alicat流量設備替換多個不同量程熱式MFC

我們的可用量程范圍明顯高于競爭對手；由于量程范圍限制，在其他熱式流量計/控制器的系統(tǒng)中可能需要兩臺MFC，但Alicat只用一臺就可以覆蓋全量程。例如，如果您需要控制100 SLPM到100 SCCM之間的氧氣流量，一個Alicat MFC可以在整個范圍內提供的、可重復的控制。大多數基于熱式的MFC則需要兩個或多個MFC才能完成相同的任務。我們能為客戶實現(xiàn)：

• 降低總的硬件成本
• 降低運營成本
• 減少備件和庫存資金
• 不再基于單一氣體測量，內置98+預置氣體，無需額外校準，減少備件需要
• 簡化設置
• 方便隨時更換

精度的提高意味著工藝的改進：

• 氣體混合更，減少氣體浪費
• 研發(fā)實驗中的測量更，在擴大生產規(guī)模時做出更好的生產決策
• 更高的精度可以為其他流量設備的校準提供更高的標準

分辨率的提高意味著更精細的控制：

• 生物反應器，制藥，激光等敏感應用可以依賴Alicat來實現(xiàn)精細控制。

精度計算示例：

要使用新規(guī)范計算Alicat儀表的精度，您需要了解流量儀表的量程及其讀數。

假設一個標準校準的M系列質量流量計的全量程為10 SLPM，讀數為5 SLPM。對于標準精度規(guī)范，16.7%的滿量程值是一個轉折點。當讀數低于滿量程的16.7%時，用滿量程的0.1%來計算誤差更大一些。當讀數高于滿量程的16.7%時，用讀數值的0.6%來計算誤差更大一些。由于5SLPM的流量高于滿量程的16.7%，故精度計算基于流量的實際讀數：

精度= ±0.6%的讀數值 = (0.005)(5 SLPM) = ±0.03 SLPM

如果流量讀書低于滿量程的16.7%，如0.5SLPM，此時精度計算是基于滿量程值：

精度= ±0.1% 的滿量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

對于高精度規(guī)范，轉折點是滿量程的20%。采用前一個例子來計算，結果如下：

讀數為5SLPM時，精度= ±0.5% 的讀數值= (0.005)(5 SLPM) = ±0.025 SLPM

讀數為0.5SLPM時，精度= ±0.1% 的滿量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

圖二 新版本較老版本精度提升比例

實用術語：

滿量程：設備大的校準讀數。對于雙向流設備，請參閱相關規(guī)范表以了解完整的規(guī)格說明。

分辨率： 讀取/控制變量的小位數。

% Rd:  取決于實際讀數值的精度指標，與滿量程無關。用該數值乘以實際讀數值就能得到在某一特定讀數時的精度。

% F.S.:  取決于滿量程值的精度指標，與實際讀數值無關。用該數值乘以設備校準的滿量程值就能得到特定設備的精度。注意：雙向流設備可能具有不同的滿量程值，詳細信息請參閱各個規(guī)格表。