3D納米直寫的又一作品 | nano-Dog突破納米加工尺寸極限

    近期，瑞士swisslitho公司利用3d納米高速直寫設備完成了 nano-Dog 賀卡的制作，尺寸僅有9.2μmx 5.5μm，Z軸精度1nm，突破了納米加工尺寸的極限，是目前精度zui高的納米賀卡。

    喜氣洋洋的旺旺狗，體現(xiàn)了這款設備的納米直寫能力（高直寫精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)），同時高直寫速度，無需顯影，無臨近效應，無電子/離子損傷等特點逐漸受到科研工作者的青睞。2017推出的小面積直寫系統(tǒng)NanoFrazor Scholar更是只有30mmx30mm的樣品臺，桌面配置，*方便了實驗室科研人員的研究工作。

    普通的AFM針尖可無法滿足上述直寫流程的需求，為此IBM專門研發(fā)并設計了熱掃描探針。該針尖具有兩個電阻加熱區(qū)域，針尖上方的加熱區(qū)域可以加熱到1000℃。 第二處加熱區(qū)域作為熱導率傳感器位于側臂處，其能感知針尖與樣品距離的變化，精度高達0.1nm。

    在每行直寫進程結束后的回掃結構時，并不是通過針尖起伏反饋形貌信息，而是通過熱導率傳感器感應形貌變化，從而實現(xiàn)了比AFM快1000余倍的掃描速度，同時保證了3D直寫的高精度。

    NanoFrazor與傳統(tǒng)的微納加工設備如納米醮印，激光直寫，聚焦離子束刻蝕FIB，電子束誘導沉積，電子束光刻EBL等技術相比，具有高精度3D納米結構直寫，具備實時形貌探測的閉環(huán)刻寫技術以及無需標記拼接與套刻等*技術優(yōu)勢。加上其性價比高，使用和維護成本低，易操作等特點，成為廣受關注的納米加工設備。