【應用速遞】基于STACIS®的主動壓電隔振系統(tǒng)應用案例

• 為什么選用主動的隔振控制系統(tǒng)？

• *的低頻隔振效率。（具體效率請見紅藍隔振曲線圖）
• 主動“Hard-Mount”架構提供了比被動氣浮隔離器快10倍的穩(wěn)定時間。（黑色穩(wěn)定速度曲線圖）
• 避免氣浮系統(tǒng)重力不穩(wěn)定的風險。
• 可以與任何設備自帶的隔離系統(tǒng)“堆疊串聯(lián)”。

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• 通常情況下一套STACIS®隔振系統(tǒng)由3或4個隔振器加上數(shù)字控制器組成：

每個隔振器有三種負載能力的版本可供選擇:

– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

對于尺寸較大的平臺系統(tǒng)，可以將多個STACIS系統(tǒng)組合為一個操作系統(tǒng)來實現(xiàn)整體的隔振。

STACIS III 通常會配置層壓鋼板平臺和底座支架來調(diào)整適配高度。

• 兩種典型的配置方式：

• 安裝在混凝土地板上：普通實驗室環(huán)境， 通?？梢詾樾枰@得極低的系統(tǒng)高度時做特殊設計。
• 安裝在高架地板上：通常應用于潔凈室中。

• 應用案例：

C 附帶Lift hood 的STACIS 2100：應用于UHV-STM超高真空掃描隧道顯微鏡

• 配置3-Mount STACIS系統(tǒng)
• 有效降低總體高度的left-hood設計

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