| 嚴格按照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及標準設(shè)計制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進 是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。 本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的Z大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。 2、主機能數(shù) （1）測量范圍： 可測電阻率：0.0001～19.9999cm 可測方塊電阻：0.0001～1000Ωcm （2）恒流源： 輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào) 量程：0.001～0.01mA 0.01～0.10mA 0.10～1.0mA 1.0～10mA 10～100mA 恒流精度：各檔均低于±0.05% （3）直流數(shù)字電壓表： 測量范圍：0～19.999mV 靈敏度：1μV 基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度） 輸出電源：≥1000ΩM （4）供電電源： AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W （5）使用環(huán)境： 溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65% 無較強的電場干擾，無強光直接照射 （6）重量、體積： 主機重量：7.5kg 體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度） |   |
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