自動橢圓偏振測厚儀 型號:XHPY-2 | 貨號:ZH10669 |
產(chǎn)品簡介: 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。 儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。 指標: 測量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm;折射率范圍:1-10 測量Z小示值:≤1nm 入 射 角:20°- 90°精度≤0.05° 偏振器方位角范圍:0°- 180° 度盤刻度:每格1度 偏振器步進角:0.014°/步 儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時) 測量膜厚和折射率重復性精度分別為:0.5nm和0.005 光學中心高度:80mm 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm 外形尺寸:680*390*310mm 主機重量:26kg 儀器成套性: 主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計算機)。 |
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