原裝中國臺灣鈺邦VACUTRONICS真空泵

圖中E表示活性氣體與新鮮鈦膜反應(yīng)形成化合物，化學(xué)吸附在陽極筒內(nèi)壁。隋性氣體被電離，離子在電場作用下轟擊陰極過程中被排出。其排除方式為：(1)離子直接打入陰極表面內(nèi)或β區(qū)(如圖中a)；斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉，埋葬在β區(qū)(圖中b)；(2)離子沒打入陰極內(nèi)，從陰極得一電子恢復(fù)為中性原子或分子，反射到陽極內(nèi)表面被埋掉(圖中c)，這叫“荷能中性粒子反射”。

6)圖中F表示對于氫，由于其質(zhì)量小，氫離子轟擊鈦板的濺射產(chǎn)額甚低，氫離子 H2+ 或 H+ 打到鈦板上與電子復(fù)合變成H原子，然后擴(kuò)散入鈦的晶格內(nèi)，形成TiH固溶體而被排出。常溫下這種固溶體中H2的濃度為0.05%，當(dāng)溫度高于250oC以上時(shí)，便又開始分解放出氫。鈦大量吸氫后。由于放熱反應(yīng)鈦板溫度上升，達(dá)到250oC以后，除重新釋放氫之外并導(dǎo)致鈦板晶格膨脹造成龜裂。通常需加大鈦板的散熱能力來改善濺射離子泵對氫的排除能力。要提高對氫的抽速，需保持鈦板表面清潔，選用晶格常數(shù)較大的β-Ti或鈦合金作為陰極板，或引入與氫可比擬的氬含量。因氬的濺散產(chǎn)額高，可提高對氫的抽速。

真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念，開始反映的是空無一物的狀態(tài)，類似于“無”。20世紀(jì)P.A.M.狄拉克提出了所謂量子真空的概念，即真空并不是空無一物而是時(shí)刻有虛粒子與實(shí)物粒子轉(zhuǎn)化的，但整體是對外不顯物理屬性的宏觀總體。真空是能量海，是一個(gè)不斷振蕩的充滿著巨大能量的客觀存在；而空間只是數(shù)學(xué)上的一個(gè)概念，是反映的是運(yùn)動(dòng)的屬性和幾何大小的概念。也就是說，空間和真空一個(gè)是數(shù)學(xué)概念一個(gè)是物理概念，二者沒有絲毫的包含關(guān)系。真空的屬性的確需要使用空間來描述，但那只是種數(shù)學(xué)表示，是為了方便研究才引入的參量，并不是說真空的性質(zhì)取決于空間。

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