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全自動智能控制方式,一鍵式操作
開機自動退出自檢、復位
開蓋自動退出樣品臺,升起Z軸測試平臺,方便放樣
關蓋推進樣品臺,下降Z軸測試平臺并自動完成對焦
直接點擊全景或局部景圖像選取測試點
點擊軟件界面測試按鈕,自動完成測試并顯示測試結(jié)果
X熒光無損測厚儀_天瑞儀器 性能優(yōu)勢
全自動智能控制方式,一鍵式操作
開機自動退出自檢、復位
開蓋自動退出樣品臺,升起Z軸測試平臺,方便放樣
關蓋推進樣品臺,下降Z軸測試平臺并自動完成對焦
直接點擊全景或局部景圖像選取測試點
點擊軟件界面測試按鈕,自動完成測試并顯示測試結(jié)果
精密的三維移動平臺
的樣品觀測系統(tǒng)
的圖像識別
輕松實現(xiàn)深槽樣品的檢測
四種微孔聚焦準直器,自動切換
雙重保護措施,實現(xiàn)無縫防撞
采用大面積高分辨率探測器,有效降低檢出限,提高測試精度
X熒光無損測厚儀_天瑞儀器 技術指標
重復性:可達0.1%
穩(wěn)定性:可達0.1%
SDD探測器:分辨率低135eV
采用的微孔準直技術,小孔徑達0.1mm
小光斑可達0.1mm
樣品觀察:配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm
四種準直器組合
分析元素范圍:硫(S)- 鈾(U)
同時檢測元素:多24種,多達5層鍍層
檢出限:可達2ppm,薄可測0.005μm
分析含量:2ppm-99.9%
鍍層厚度:50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)
儀器尺寸:690(W)×575(D)×660(H)mm
樣品室尺寸:520(W)×395(D)×150(H)mm
樣品臺尺寸:393(W)×258(D)mm
X/Y/Z平臺移動速度:額定速度200mm/s速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復定位精度:小于0.1μm
操作環(huán)境濕度:≤90%
操作環(huán)境溫度:15℃-30℃