數(shù)字式四探針測試儀 簡易四探針檢測儀
型號:SN/STZ-4
數(shù)字式四探針測試儀,是二量程的電阻測量儀器,配以手持式測試頭或座式測試架,可用來測量片狀,柱狀,或塊狀,電阻率在0.01~200歐姆/厘范圍內(nèi)的半導(dǎo)體材料。(客戶根據(jù)不同的要求可以選擇不同的量程,zui小可以測量0.0001Ωzui大可以測量100000Ω,根據(jù)電流檔定精度)通過對恒流源的調(diào)整,可以對某些測量結(jié)果進(jìn)行修整,例如對普通硅材料的測試結(jié)果要乘以0.628的探險頭修正系數(shù),對硅材料薄層擴(kuò)散和導(dǎo)電薄膜 “方塊電阻“ 的修正系數(shù)為4.53等均可通過調(diào)正恒流電流加以處理。SZT-4數(shù)字式四探針測試儀,體形小巧,操作方便,量程適中,十分適於對重?zé)捇亓系姆诌x。
本儀器工作環(huán)境條件為:
溫 度:18℃―25℃
相對濕度:60%-80%
工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電場干擾,不與高頻設(shè)備共用電源。
二,技術(shù)參數(shù)
1,測量范圍
電 阻 率 0.01-200Ω-cm
方塊電阻 0.01-200Ω-口
電 阻 0.01-200.0
2,數(shù)字電壓表
(1)量 程 : 200mV單一量程
(2)誤 差: 讀數(shù) ±0.2%±3字
(3)輸入電阻 : >10MΩ
3,恒 流 源
(1)電流輸出 0~10mA連續(xù)可調(diào)
(2)量 程 1mA, 10mA
(3)誤 差 ±0.2%±3字,
4,手持式四探針測試頭
(1)探 針 間 距:: 1mm
(2)探針機(jī)械游移率: ±1.0%
(3)探 針 材 料: 碳化鎢,φ0.
(4)壓力: zui大 2Kg
5,電源:
220V±10%:50Hz
功耗: 5W
6,外形尺寸;
7,使用方法:取出儀器平放於桌上,將三芯電源線接入儀器的電源插座中,并接通交流電壓(220V),再將測試探頭的插頭插入相應(yīng)的插座中,按下電源開關(guān)使儀器得電,儀器上的數(shù)字電壓表就有讀數(shù)顯示,如果面板上的二個功能開關(guān)全部處於彈出狀態(tài),則二個開關(guān)旁邊的“調(diào)整”指示燈和:“1mA”指示燈將被點(diǎn)亮,此時旋轉(zhuǎn)電流調(diào)節(jié)旋鈕電壓表讀數(shù)就會發(fā)生有規(guī)則的變化,這說明儀器已經(jīng)可以正常工作。
下一步就可以跟據(jù)測試的須要對電流進(jìn)行調(diào)整。電流調(diào)整應(yīng)該將電流開關(guān)放在10mA的位置上。
8,電流調(diào)整 :
(1)半導(dǎo)體(硅)材料的電阻率測試:
在10mA電流量程上將電流調(diào)到6.28mA,相當(dāng)于在10mA電流情況下測得的結(jié)果,乘以探頭修正系數(shù)0.628。
由於恒流源的調(diào)整,1mA和10mA是同步的,在`10mA調(diào)準(zhǔn)以后1mA量程同樣包含有這個修正系數(shù)。
(2)半導(dǎo)體(硅)材料薄層擴(kuò)散,玻璃或塑料的薄導(dǎo)電鍍復(fù)層的方塊電阻 測試:
在10mA電流量程上將電流調(diào)至4.53mA, 測得結(jié)果乘以10,就是方塊電阻。
(3)電阻測試:
電阻測試不能使用探頭,必須換用帶有鱷魚夾子的四線插頭
“電阻測試線”(選配件)。電流調(diào)到10mA,電壓表的顯示值
就是電阻值,不用修正。
(4)在做好測試前的準(zhǔn)備工作之后,取下探頭保護(hù)蓋,將探頭壓在被測工件上,使四根探針和工件保持良好接觸,
使用時的注意事項;
(1) 保護(hù)蓋取下后一定要保存好,用畢仍要蓋好,以防探針損壞。
(2) 儀器操作時,應(yīng)備戴乾燥手套,操作場地,桌椅均應(yīng)保持乾燥。
(3) 在被測材料外形尺寸允許的情況下,建議使用臺式測試架(選購件),可使測試精度和穩(wěn)定性都會有所提高。
(4) 對於被測工件為片狀其厚度<3.49毫米時,還應(yīng)對測試結(jié)果進(jìn)行厚度修正,修正參數(shù)見參數(shù)表,附錄`1A和附錄1B 。
(5) 附錄2,是對片狀工件外形(園形,矩形)和測量位置的修正參數(shù)表。