數(shù)字式四探針測試儀 電阻率方塊電阻測量儀
型號:SN/RTS-8
北京數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的,于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
北京數(shù)字式四探針測試儀儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
技 術(shù) 指 標 : |
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測量范圍 | -5 | 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺); | 恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示; | 四探針探頭基本指標 | 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); | 四探針探頭應用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 | 整機測量 大相對誤差 | (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5% | 整機測量標準不確定度 | ≤5% | 測試模式 | 可連接電腦測試也可不連接電腦測試 | 軟件功能(選配) | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù) 大值、 小值、平均值、 大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 | 計算機通訊接口 | 并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時)。 | 標準使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無高頻干擾; 無強光直射; |
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