手持式四探針測試儀 硅材料電阻率測試儀
型號：SN/RTS-3
RTS-3型手持式四探針測試儀體積小，精度高，測量范圍寬，運(yùn)用四探針原理能夠測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻。
技術(shù)參數(shù)：
測量范圍 | 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； |
恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%； |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機(jī)測量zui大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
外型尺寸 | 185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高) |
重量 | 350g |
電源 | 鋰電池，一次充電可連續(xù)使用100小時； |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射 |
適用場所：
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
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