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LoPro 雙級閥門
為了在有限的空間條件下實現(xiàn)系統(tǒng)的軟抽真空,我們*使用 HPS 的 LoPro 雙級閥門,它將一個低高度的隔離閥和一個小的旁通閥相集成,很大地簡化了系統(tǒng)的安裝并降低了成本。
LoPro雙級閥特別適合在高真空中應(yīng)用,尤其是應(yīng)用在需要潔凈環(huán)境的半導(dǎo)體或光學(xué)加工工藝中。該閥門具有慢速抽空的特點,減小了湍流,從而防止了沾污的產(chǎn)生和對產(chǎn)品的破壞。本頁列出的該系列閥門有ISO-KF NW 25法蘭、0.225 英寸旁通閥口徑和Viton密封等類型,也可選擇其它配置,請客戶服務(wù)部門以獲取更多的信息。需要更大尺寸的閥門,可參閱 NW40 或 NW50 LoPro 軟啟動雙級閥或其他MKS的.
注:訂購時,請在訂貨單的注釋部分寫明所需的氣動電磁閥電壓( 24 VDC, 24 VDC, 120 VDC, 208 VDC, 220 VDC)
零件編號 示例:LPV2-25-AK-225-CLVNH-120
LoPro NW 25
閥體配置 | 旁通閥孔徑 | 調(diào)節(jié)器類型(旁通閥) | 限位開關(guān)(主閥) | 密封類型 | 溫度配置 | 控制端口選擇 |
LPV2-XX-XX | XXX | X | X | X | XX | XXX |
零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 |
LPV2-25-AK | 225 | C | L | V | NH | 24A |
KF 25 角閥 | 0.225" | 常閉 | 有限位開關(guān) | Viton® | 常態(tài) | 24 Volts AC |
LPV2-25-IK |
| V | N | Z |
| 24D |
KF 25 直閥 |
| 翼形螺栓 | 無限位開關(guān) | Chemraz® |
| 24 Volts DC |
LPV2-25-AC |
| M |
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| 120 |
CF 2 1/8" 角閥 |
| 測微計頭 |
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| 100/120 Volts AC (50/60 Hz) |
LPV2-25-IC |
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| 208 |
CF 2 1/8" 直閥 |
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| 208 Volts AC |
LPV2-25-AT |
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| 240 |
1" 管道角閥 |
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| 240 Volts AC |
LPV2-25-IT |
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| None |
1" 管道直閥 |
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| 主閥: 1/8" NPT-F |
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| 旁通閥: 10/32 UNF-F |
LoPro (續(xù))
LoPro NW 40
閥體配置 | 旁通閥孔徑 | 調(diào)節(jié)器類型(旁通閥) | 限位開關(guān)(主閥) | 密封類型 | 溫度配置 | 控制端口選擇 |
LPV2-XX-XX | XXX | X | X | X | XX | XXX |
零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 |
LPV2-40-AK | 225 | C | L | V | NH | 24A |
KF 40 角閥 | 0.225" | 常閉 | 有限位開關(guān) | Viton® | 常態(tài) | 24 Volts AC |
LPV2-40-IK |
| V | N | Z |
| 24D |
KF 40 直閥 |
| 翼形螺栓 | 無限位開關(guān) | Chemraz® |
| 24 Volts DC |
LPV2-40-AC |
| M |
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| 120 |
CF 2 3/4" 角閥 |
| 測微計頭 |
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| 100/120 Volts AC (50/60 Hz) |
LPV2-40-IC |
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| 208 |
CF 2 3/4" 直閥 |
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| 208 Volts AC |
LPV2-40-AT |
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| 240 |
1 1/2" 管道角閥 |
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| 240 Volts AC |
LPV2-40-IT |
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| None |
1 1/2" 管道直閥 |
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| 主閥: 1/8" NPT-F |
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| 旁通閥: 10/32 UNF-F |
LoPro NW 50
閥體配置 | 旁通閥孔徑 | 調(diào)節(jié)器類型(旁通閥) | 限位開關(guān)(主閥) | 密封類型 | 溫度配置 | 控制端口選擇 |
LPV2-XX-XX | XXX | X | X | X | XX | XXX |
零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 | 零件編號 |
LPV2-50-AK | 225 | C | L | V | NH | 24A |
KF 50 角閥 | 0.225" | 常閉 | 有限位開關(guān) | Viton® | 常態(tài) | 24 Volts AC |
LPV2-50-IK |
| V | N | Z |
| 24D |
KF 50 直閥 |
| 翼形螺栓 | 無限位開關(guān) | Chemraz® |
| 24 Volts DC |
LPV2-50-AC |
| M |
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| 120 |
CF 3 3/8" 角閥 |
| 測微計頭 |
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| 100/120 Volts AC (50/60 Hz) |
LPV2-50-IC |
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| 208 |
CF 3 3/8" 直閥 |
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| 208 Volts AC |
LPV2-50-AT |
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| 240 |
2" 管道角閥 |
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| 240 Volts AC |
LPV2-50-IT |
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| None |
2" 管道直閥 |
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| 主閥: 1/8" NPT-F |
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| 旁通閥: 10/32 UNF-F |
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