holmarc Variable Angle Laser Ellipsometer 返回列表頁

holmarc Variable Angle Laser Ellipsometer可變角度激光橢偏儀是一種非常靈敏的光學(xué)技術(shù)，可為薄膜計(jì)量提供的功能。橢偏儀利用光的相位信息和偏振態(tài)，因此可以實(shí)現(xiàn)埃級(jí)分辨率。橢偏儀的主要優(yōu)點(diǎn)是無損檢測(cè)，靈敏度高和測(cè)量范圍廣。可以通過這種技術(shù)精確地確定薄膜的光學(xué)參數(shù)，例如厚度和折射率。

在橢圓儀型號(hào)：HO-ED-P-06中，使圓偏振光入射到測(cè)試基板上，并分析線偏振的反射光的偏振變化。

該儀器包括兩個(gè)同心旋轉(zhuǎn)的臂，這些臂圍繞著固定在較重基座上的精確刻度的圓盤。激光源固定在一個(gè)臂上，檢測(cè)器組件固定在另一臂上。通過游標(biāo)卡尺，刻度盤的刻度為1°，分辨率為0.1°。激光源和檢測(cè)器的電源分開放置。偏振器，檢偏器和四分之一波片被固定在光路中的精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)中，刻度范圍為0-360°，分辨率為0.1°。格蘭-湯普森棱鏡用于偏光鏡和檢偏鏡。

圖橢圓機(jī)的工作原理圖
 

將樣品放置在高精度千分尺驅(qū)動(dòng)的垂直工作臺(tái)上，高度調(diào)整范圍為10 mm，分辨率為0.01 mm。激光源的入射角可在30°至90°之間調(diào)節(jié)。對(duì)于零點(diǎn)方法，如果需要，可以用微型屏幕代替檢測(cè)器，以便目測(cè)確定零點(diǎn)。

如圖所示，隨機(jī)偏振的激光（532nm）通過偏振器，該偏振器將光的偏振從隨機(jī)偏振改變?yōu)榫€性偏振。然后，線性偏振光穿過四分之一波片（將快軸設(shè)置為45度），該偏振片將偏振狀態(tài)從線性更改為圓形。從樣品薄膜反射后，圓偏振光變?yōu)榫€性偏振，分析儀測(cè)量偏振度。

技術(shù)指標(biāo)
 

測(cè)量范圍：1 nm?300 nm

入射角：30°?90°，誤差≤0.1°

旋轉(zhuǎn)范圍

偏光鏡：0°?360°

四分之一波：0°?360°

分辨率：0.1度

激光：DPSS（532nm，5mW）

激光臂

旋轉(zhuǎn)范圍：70度（從水平面開始）

主要規(guī)模：1度

分辨率：0.1度

探測(cè)器

類型：硅光電二極管

有效面積：5.8 x 5.8毫米

探測(cè)器臂

旋轉(zhuǎn)范圍：70度（從水平面開始）

主要規(guī)模：1度

分辨率：0.1度

樣品架

高度調(diào)節(jié)范圍：10毫米

驅(qū)動(dòng)器分辨率：10微米

傾斜范圍：+/- 2度