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Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D

圖片

簡介

SC100D勻膠顯影機是在SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)，被設(shè)計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。

SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩，多可配備四路噴淋系統(tǒng)，包括顯影液和去離子水等，以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統(tǒng)包括：噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。

SC100D使用工業(yè)級伺服馬達和高級PLC控制，7寸全彩觸屏人機操作界面。設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可進行程控操作，具有優(yōu)異的性價比。

規(guī)格參數(shù)

功能圖解

應(yīng)用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

MEMS器件加工