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GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

更新時間：2022-05-22 19:50:03瀏覽次數(shù)：93次

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GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計而成的較簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。本機特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實驗電極的制作。
GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計而成的、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。本機特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實驗電極的制作。
功能特點
  • 設(shè)有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
  • 通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得鍍膜效果。
  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
  • 根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
  • 已通過CE認證。
技術(shù)參數(shù)
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水 不需要
電 AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置 不需要
靶 ?45mm
真空室 ?160mm×120mm
真空度 ≤4×10-2mbar
靶位 3個
電流 50mA
可設(shè)定最長時間 900s
微型真空氣閥 連接?3mm軟管
電壓 1600V DC
機械泵 2L/s
可選配件 金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準配件 1 金靶材 1個
2 銀靶材 1個
3 鋁靶材 1個
4 進氣針閥 1個
5 保險絲 2個
暫無內(nèi)容
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