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AL120-12晶圓搬送機(jī)

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便       

• 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。           
• 分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。           

堅(jiān)固、可靠和安全傳送       

• 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。           
• 薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。           
• 宏觀觀察位置的更優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。           

宏觀照明裝置       

宏觀照明裝置

為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式                        
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。

AL120-12晶圓搬送機(jī)技術(shù)參數(shù)