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FMA-A2000氣體質量流量計和控制器
可選配一體式顯示屏,用于測量潔凈氣體,精度為±1%
線性模擬輸出,成本低,采用熱感技術,可測量高達100 SLM的流量
內含電源
FMA-A2000系列電子質量流量計/控制器性能出眾、 功能多樣、設計、外形緊湊。
FMA-A2000利用毛細管式熱感技術直接測量氣體的質量流量。無需進行溫度、壓力或平方根校正。
FMA-A2300/2400系列配備LCD顯示屏,并且所有型號都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。
FMA-A2000測量0 ~ 100 SLM之間24個量程的氣體質 量流量。要查看完整列表,請參閱下一頁的量程表。
FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對照氣體相容性檢查接液材料。
OMEGA的質量流量控制器利用內部電磁比例閥控制質量流量。
可以通過內部電位器設定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號。
規(guī)格:
精度: 滿量程的±1%(包括線性度)
重復性: 滿量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
響應時間: 5秒
氣體環(huán)境溫度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
溫度系數: 每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數: 每psi為滿量程的0.01%或更佳
*低壓力要求:
流量計: 1英寸水柱
*大流速為1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
質量流量控制器的壓差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(標準)
>5 LPM,20 ~ 40 psi(標準)
氣體*大壓力:
聚甲醛: 250 psig
316不銹鋼: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件:
標配: 聚甲醛、氟橡膠O形圈
選配: 316不銹鋼、氟橡膠O形圈
連接口: ¼ FNPT(標配);
¼"壓合接頭(適用于所有不銹鋼型號流量計)
輸入/輸出連接口: 9針sub-D連接器
控制信號: 0 ~ 5 Vdc
控制閥: 常閉電磁閥
輸出信號: 線性0 ~ 5 Vdc(*小負載1000 ?),4 ~ 20 mA(環(huán)路電阻500 ?)
安裝螺紋:
316不銹鋼殼體: 6⁄32"螺紋
聚甲醛材料: #4/6自攻螺絲
輸入電源:
流量計: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(帶交流適配器)
外形尺寸: 參見圖紙
重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含電源)
聚甲醛質量流量計,不帶顯示屏 | |
FMA-A2100 | 0到10 SCCM |
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FMA-A2101 | 0到20SCCM |
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FMA-A2102 | 0到50SCCM |
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FMA-A2103 | 0到100SCCM |
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FMA-A2104 | 0到200SCCM |
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FMA-A2105 | 0到500SCCM |
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FMA-A2107 | 0到2SLM |
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FMA-A2108 | 0到5SLM |
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FMA-A2109 | 0到10SLM |
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FMA-A2117 | 0到50SLM |
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FMA-A2118 | 0到55的SLM |
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FMA-A2119 | 0到60SLM |
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FMA-A2120 | 0到65SLM |
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FMA-A2121 | 0到70SLM |
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FMA-A2122 | 0到75SLM |
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FMA-A2123 | 0到100SLM |
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聚甲醛質量流量控制器,不帶顯示屏 | |
FMA-A2200-(**) | 0到10 SCCM |
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FMA-A2201-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2202-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2203-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2204-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2205-(**) | 0到500的SCCM |
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FMA-A2206-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2207-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2208-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2209-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2210-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2211-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2212-(**) | 0到25SLM |
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FMA-A2213-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2214-(**) | 0到35SLM |
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FMA-A2215-(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2216-(**) | 0到45SLM |
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FMA-A2217-(**) | 0到50SLM |
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不銹鋼質量流量控制器,不帶顯示器 | |
FMA-A2200-SS-(**) | 0到10SCCM |
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FMA-A2201-SS-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2202-SS-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2203-SS-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2204-SS-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2205-SS-(**) | 0到500SCCM |
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FMA-A2206-SS-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2207-SS-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2208-SS-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2209-SS-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2210-SS-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2211-SS-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2212-SS-(**) | 0到25的SLM |
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FMA-A2213-SS-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2214-SS-(**) | 0到35SLM |
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FMA-A2215-SS-(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2216-SS-(**) | 0到45的SLM |
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FMA-A2217-SS-(**) | 0到50的SLM |
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聚甲醛質量流量計,帶顯示屏 | |
FMA-A2300 | 0到10SCCM |
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FMA-A2301 | 0到20SCCM |
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FMA-A2302 | 0到50SCCM |
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FMA-A2303 | 0到100SCCM |
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FMA-A2304 | 0到200SCCM |
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FMA-A2305 | 0到500SCCM |
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FMA-A2306 | 0到1SLM |
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FMA-A2307 | 0到2的SLM |
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FMA-A2308 | 0到5的SLM |
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FMA-A2309 | 0到10SLM |
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FMA-A2317 | 0到50SLM |
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FMA-A2318 | 0到55SLM |
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FMA-A2319 | 0到60SLM |
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FMA-A2320 | 0到65SLM |
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FMA-A2321 | 0到70SLM |
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FMA-A2322 | 0到75SLM |
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FMA-A2323 | 0到100SLM |
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聚甲醛的質量流量控制器,帶顯示屏 | |
FMA-A2400-(**) | 0到10SCCM |
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FMA-A2401-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2402-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2403-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2404-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2405-(**) | 0到500SCCM |
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FMA-A2406-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2407-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2408-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2409-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2410-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2411-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2412-(**) | 0到25SLM |
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FMA-A2413-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2414-(**) | 0到35的SLM |
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FMA-A2415-(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2416-(**) | 0到45SLM |
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FMA-A2417-(**) | 0到50SLM |
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不銹鋼質量流量控制器,帶顯示屏 | |
FMA-A2400-SS-(**) | 0到10SCCM |
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FMA-A2401-SS-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2402-SS-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2403-SS-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2404-SS-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2405-SS-(**) | 0到500SCCM |
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FMA-A2406-SS-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2407-SS-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2408-SS-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2409-SS-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2410-SS-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2411-SS-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2412-SS-(**) | 0到25SLM |
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FMA-A2413-SS-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2414-SS-(**) | 0到35SLM |
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FMA-A2415-SS(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2416-SS-(**) | 0到45SLM |
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FMA-A2417-SS-(**) | 0到50SLM |
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配件 | |
FMA-200PWA | 備用插座式插接電源(90 ~ 260 Vac) |
注釋: 配備操作手冊、9針sub-D連接器、電源及NIST校準(無數據點)。
欲購可選316不銹鋼殼體儀表,請將后綴"-SS"添加到型號中(需付額外費用)(¼"壓合接頭為標配)。對于FMA-A22與FMA-A24控制器,不銹鋼殼體是標配。
注:所有的控制器流量范圍均針對20 psig時的氮氣或空氣;在用于其它氣體時,需要使用相關系數確定流量。
** 氣體、入口/出口壓力和溫度。
要獲得5測量點NIST校準證書,請將后綴"-NIST5"添加到型號中(無額外費用)。
要獲得10測量點NIST校準證書,請將后綴"-NIST10"添加到型號(需付額外費用)。
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選項描述 | |
(1) | 型號代碼 |
| 選擇 |
(2) | 量程代碼 |
| 選擇 |
(3) | 可選316不銹鋼閥體 |
| 選擇 |
(4) | 型號代碼 |
| 選擇 |
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