儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。
ST2253型數字式四探針測試儀
、概述
ST2253 型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量半導體材料的電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。
儀器由主機、測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結果由主機數碼管直接顯示。也可連接PC機由配套軟件在PC機上操作，其數據可由軟件顯示、分析、保存和打??！
主機主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成，自動轉換量程。測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。
基本技術參數
3.1測量范圍
電阻率： 10-4～105Ω-cm
方塊電阻： 10-3～106Ω/□
電阻：10-4～105Ω
3.2可測半導體材料尺寸
直 徑： Φ15～100mm, 長（或高）度： ≤400mm
2.3測量方位:
軸向、徑向均可
2.4. 4 1/2 位數字電壓表：
⑴量程： 200mV
⑵誤差：±0.1%讀數±2 字
2.5數控恒流源
⑴電流輸出：直流電流 0～100mA 連續(xù)可調，由交流電源供電。
⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
⑶誤差：±0.5%讀數±2 字
2.6四探針測試探頭
⑴探針間距 1mm
（2）探針壓力: 0～2kg 可調,zui大壓力約 2kg
（3）探針：碳化鎢，Φ0.5mm
2.7.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
2.8.外形尺寸：
主機 260mm（長）×210 mm（寬）×125mm（高）
興旺寶