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多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控濺射噴金儀。
薄膜材料的真空、等離子制備、處理技術(shù)現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、太陽能等領(lǐng)域的研發(fā)以及成產(chǎn)當(dāng)中，這些技術(shù)包括：等離子體增強化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器（PECVD Re...
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