納米定位壓電疊堆促動器 返回列表頁

納米定位壓電疊堆促動器 

特征

亞納米定位分辨率

NPA 壓電疊堆促動器的定位分辨率低至 0.05 nm，因此可以進行超精細調(diào)節(jié)，且分辨率僅受限于控制電子器件的噪聲。

載重能力超高

NPA 壓電疊堆促動器可以產(chǎn)生高達 1000 N 的力，因而特別適用于機床、主動隔振或自適應(yīng)機制。

適合閉環(huán)工作的可選應(yīng)變計

閉環(huán)版本具有高分辨率位置傳感器，可實現(xiàn)高精度且可重復(fù)的運動，而且還會對促動器的移動進行補償。裝配基于完整的惠斯通電橋進行，并且對溫度不敏感。閉環(huán)設(shè)備可用于開環(huán)或閉環(huán)控制。

真空兼容版本

NPA 壓電疊堆促動器具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 環(huán)境中使用。

納米定位壓電疊堆促動器 配有高度可靠的多層低壓壓電換能器堆疊。它們通過機械彈簧在內(nèi)部完成預(yù)加載，具有高諧振頻率，這使其成為高載重動態(tài)應(yīng)用的理想之選。
亞納米定位分辨率
載重能力超高
可選應(yīng)變計位置反饋
真空兼容版本

技術(shù)參數(shù)

• 行程范圍

  0.1 mm  

• 軸向負載

  1000 N  

• 負載，拉

  150 N  

• 軸向剛度

  10 N/µm  

• 電容

  9.0 µF

• 共振頻率

  3000 Hz

• 電纜長度

  1 m

• 開環(huán)分辨率

  0.2 nm  

• 亞納米定位分辨率

  NPA 壓電疊堆促動器的定位分辨率低至 0.05 nm，因此可以進行超精細調(diào)節(jié)，且分辨率僅受限于控制電子器件的噪聲。

  載重能力超高

  NPA 壓電疊堆促動器可以產(chǎn)生高達 1000 N 的力，因而特別適用于機床、主動隔振或自適應(yīng)機制。

  適合閉環(huán)工作的可選應(yīng)變計

  閉環(huán)版本具有高分辨率位置傳感器，可實現(xiàn)高精度且可重復(fù)的運動，而且還會對促動器的移動進行補償。裝配基于完整的惠斯通電橋進行，并且對溫度不敏感。閉環(huán)設(shè)備可用于開環(huán)或閉環(huán)控制。

  真空兼容版本

  NPA 壓電疊堆促動器具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 環(huán)境中使用。